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Manufacture of semiconductor device
其他题名Manufacture of semiconductor device
MARUKO ERUMAN; JIYAN BERUNAARU TEETEN; NAKITA BOTOUDANI
1986-05-12
专利权人PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV
公开日期1986-05-12
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要A coupling member between an input light wave guide transporting a main light beam and secondary light wave guides each transporting a part of the intensity of the main light beam. The coupling member is monolithically integrated with the wave guides on a semiconductor substrate. The coupling member comprises a plate having parallel surfaces perpendicular to the plane of the substrate. The plate has a refractive index different from that of the main light wave guide. The parallel surfaces of the plate form interfaces separating the propagation medium of the wave guides (I, R, T) from the propagation medium constituted by the plate.
其他摘要传输主光束的输入光波导和传输主光束强度的一部分的二次光波导之间的耦合构件。耦合构件与半导体衬底上的波导一体地集成。耦合构件包括具有垂直于衬底平面的平行表面的板。该板的折射率不同于主光波导的折射率。板的平行表面形成将波导(I,R,T)的传播介质与由板构成的传播介质分开的界面。
申请日期1985-09-24
专利号JP1986094006A
专利状态失效
申请号JP1985210877
公开(公告)号JP1986094006A
IPC 分类号G02B6/12 | G02B6/125 | G02B6/28 | G02F1/025 | G02F1/313 | H01S5/00 | G02F1/015 | G02F1/31 | H01S3/18
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/81110
专题半导体激光器专利数据库
作者单位PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV
推荐引用方式
GB/T 7714
MARUKO ERUMAN,JIYAN BERUNAARU TEETEN,NAKITA BOTOUDANI. Manufacture of semiconductor device. JP1986094006A[P]. 1986-05-12.
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