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半導体装置およびその製造方法
其他题名半導体装置およびその製造方法
比留間 健之; 中塚 慎一; 田中 俊明; 濱田 博
1998-12-18
专利权人株式会社日立製作所
公开日期1998-12-18
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】半導体発光素子の室温以上における動作特性を改善させる。また、素子製作工程における寸法制御を容易にする。 【解決手段】pn接合を有する半導体多層膜からなる発光素子において、p型半導体領域の内部にカーボンをドープしてp型の伝導型にしたAlP/InPヘテロ接合、または、GaP/InPヘテロ接合、ないしは、AlGaAs/AlInGaPヘテロ接合を含む。
其他摘要要解决的问题:通过以下方法实现即使在超过室温的高温区域也能以高产率稳定运行的半导体元件,其中仅由AlP和InP或GaP的重复层叠构成的AlP仅由GaP和GaP的重复层叠构成。磷化铟。解决方案:通过MOCVD生长如图所示的多层截面结构。分别生长n型缓冲层2,n型包层3,多量子阱结构4,AlP / InP重复结构层5,p型包层6,p型层8,n型盖层7在Al型/ InP重复层5中,其中仅AlP掺杂有碳,AlP和InP的相应厚度被设置为使得碳掺杂水平整体可以是3&10/17 / cm 。此外,在AlP / InP中,GaP可以代替AlP。
申请日期1997-05-27
专利号JP1998335745A
专利状态失效
申请号JP1997136437
公开(公告)号JP1998335745A
IPC 分类号H01L33/12 | H01L33/06 | H01L33/30 | H01L33/14 | H01S5/00 | H01S3/18 | H01L33/00
专利代理人小川 勝男
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/79304
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社日立製作所
推荐引用方式
GB/T 7714
比留間 健之,中塚 慎一,田中 俊明,等. 半導体装置およびその製造方法. JP1998335745A[P]. 1998-12-18.
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