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Semiconductor laser device
其他题名Semiconductor laser device
NUMAI TAKAAKI; MITO IKUO
1988-12-06
专利权人NEC CORP
公开日期1988-12-06
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要PURPOSE:To obtain a lambda/4 shift type DFB laser having a good yield by making the pitch of the diffraction grating near the phase shift region smaller than the pitch of the diffraction grating corresponding to the Bragg wavelength. CONSTITUTION:On an N-type In substrate 100, a secondary lambda/4 shift diffraction grating is formed using the electron beam lithography. The period is 4800Angstrom in the region to 100mum from the end face, and in the remaining region including the lambda/4 shift position, the period is 3000Angstrom at both sides of the lambda/4 shift position, which is made larger in the nearer position to the end face and 4800Angstrom at the place which is apart from the end face by 100mum. Then, a non-doped InP guide layer 120, an N-type InP buffer layer 130, a non-doped active layer 140 and a P-type clad layer 150 are sequentially grown. With this, a lambda/4 shift type DFB laser having a good yield is obtained.
其他摘要目的:通过使相移区附近的衍射光栅的间距小于对应于布拉格波长的衍射光栅的间距,获得具有良好产量的λ/ 4移位型DFB激光器。组成:在N型In衬底100上,使用电子束光刻形成次级λ/ 4移位衍射光栅。该区域的距离为4800埃,距离端面100mum,在包括λ/ 4档位的其余区域,λ/ 4档位两侧的周期为3000埃,在较近的位置变大在距离端面100mum的地方的端面和4800Angstrom。然后,依次生长未掺杂的InP引导层120,N型InP缓冲层130,非掺杂有源层140和P型覆层150。由此,获得具有良好产率的λ/ 4移位型DFB激光器。
申请日期1987-05-29
专利号JP1988299390A
专利状态失效
申请号JP1987135860
公开(公告)号JP1988299390A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S5/12 | H01S5/227 | H01S3/18
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/77639
专题半导体激光器专利数据库
作者单位NEC CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
NUMAI TAKAAKI,MITO IKUO. Semiconductor laser device. JP1988299390A[P]. 1988-12-06.
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