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半導体発光素子及びその製造方法
其他题名半導体発光素子及びその製造方法
杉浦 勝己
1995-11-28
专利权人FUJITSU LTD
公开日期1995-11-28
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【目的】 クラッド層と電極との間のオーミック性を高め,注入電流の拡がりを抑制した電流狭窄構造を提供する。 【構成】 1)半導体基板 1上に順に積層された一導電型クラッド層 2,活性層3,反対導電型クラッド層 4を有し,電流注入領域以外の該反対導電型クラッド層 4が高抵抗化されてなる半導体発光素子,2)半導体基板 1上に一導電型クラッド層 2,活性層 3,反対導電型クラッド層4を順に積層し,該反対導電型クラッド層上の電流注入領域以外の領域に該反対導電型クラッド層を高抵抗化する不純物を含む半導体からなるキャップ層 8を形成し,該半導体基板に加熱処理を行って該不純物を該反対導電型クラッド層に拡散して高抵抗化領域(4A)を形成する過程を有する。
其他摘要提供一种电流限制结构,其增强包层和电极之间的欧姆特性并抑制注入电流的扩散。 第一导电类型的包层,有源层和相反导电类型的包层,它们依次堆叠在半导体衬底上,其中除了电流注入区域之外的相反导电型包层具有高电阻2)通过在半导体衬底1上依次层叠一个导电型包层2,有源层3和相反导电型包层4并在相反导电型包层上形成包层而形成的半导体发光元件形成由含有杂质的半导体制成的盖层8,用于增加该区域中相反导电型包层的电阻,并对半导体基板进行热处理,以将杂质扩散到相反导电型包层中,形成高电阻形成(4A)。
申请日期1994-05-19
专利号JP1995312464A
专利状态失效
申请号JP1994105092
公开(公告)号JP1995312464A
IPC 分类号H01L33/14 | H01S5/00 | H01L33/28 | H01L33/00 | H01S3/18
专利代理人井桁 貞一
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/77474
专题半导体激光器专利数据库
作者单位FUJITSU LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
杉浦 勝己. 半導体発光素子及びその製造方法. JP1995312464A[P]. 1995-11-28.
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JP1995312464A.PDF(23KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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