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半導体レーザ装置
其他题名半導体レーザ装置
伊地知 哲朗; 大久保 典雄
2003-02-28
专利权人古河電気工業株式会社
公开日期2003-05-06
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要【目的】 光学損傷の発生が防止された半導体レーザ装置を提供することを目的とする。 【構成】 InGaAsよりなる歪量子井戸層が活性層としてGaAs基板上に形成され、平行する二つの劈開面よりなる共振器が形成されている半導体レーザ装置において、共振器面にInGaP層よりなる光学損傷抑制層が形成されている半導体レーザ装置である。
其他摘要用途:通过在谐振器表面上形成由InGaP层构成的光学损伤抑制层,防止谐振器的光学损伤,从而提高谐振器的可靠性。组成:由n型Al0.3Ga0.7As层组成的下包层,由In0.2Ga0.8As应变量子阱层组成的有源层4,由p型Al0.3Ga0.7As组成的上包层5在n型GaAs衬底上依次形成由p型GaAs层构成的接触层8。然后,在形成宽度约为3μm的抗蚀剂膜9(对应于条带的宽度)之后,从另一区域蚀刻掉接触层8和上包层5的上部以及由其组成的绝缘层6。在上包层的上表面和包层5的侧面以及接触层8上形成SiO2。因此,当在生长温度下在谐振器的表面上形成由InGaP层构成的光学损伤抑制层10时在形成负电极1和正电极7之后,在约600℃的温度下,可以防止谐振器的光学损坏,并且提高谐振器的可靠性。
申请日期1994-07-13
专利号JP3403247B2
专利状态失效
申请号JP1994161206
公开(公告)号JP3403247B2
IPC 分类号H01S | H01S5/00 | H01S5/16 | H01S5/34 | H01S5/10
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/77343
专题半导体激光器专利数据库
作者单位古河電気工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
伊地知 哲朗,大久保 典雄. 半導体レーザ装置. JP3403247B2[P]. 2003-02-28.
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