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半導体レーザ
其他题名半導体レーザ
本多 正治; 池上 隆俊; 藪内 隆稔; 三宅 輝明; 中島 健二
1997-06-06
专利权人三洋電機株式会社
公开日期1997-06-06
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】 薄膜成長で格子不整合を生じ素子劣化をさせたり、それを未然に防ぐために一定期間素子製造を行った後に、定期的に成長装置を成膜特性の確認のためだけに厚膜成長させ、素子製造と異なるプロセスで煩雑な作業を繰り返し、また材料も無駄にすることとなった。 【解決手段】 基板の上にバッファ層を形成し、そのバッファ層の上に4元系のクラッド層を形成し、そのクラッド層の下もしくはクラッド層の中に特定組成のモニタ層を厚膜成長させ、クラッド層の上に特定組成の薄膜を光ガイド層もしくは障壁層として積層し量子井戸型の活性層や光ガイド層をさらに積層する。モニタ層は上側クラッド層に設けてもよい。
其他摘要要解决的问题:为了确保沉积特性,在元件制造一段时间之后提供能够周期性地生长厚膜的生长装置,以便在薄膜生长中引起晶格失配,从而导致元件劣化或防止其发生另外,在与装置制造不同的过程中重复麻烦的工作,废料也浪费。 解决方案:在基板上形成缓冲层,在缓冲层上形成四元包覆层,通过厚膜生长在包层或包层下形成特定成分的监视层然后,将具有特定组成的薄膜层压作为包层上的导光层或阻挡层,并进一步层叠量子阱活性层和导光层。监视器层可以设置在上包覆层中。
申请日期1995-11-22
专利号JP1997148667A
专利状态失效
申请号JP1995304350
公开(公告)号JP1997148667A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人岡田 敬
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/76903
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三洋電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
本多 正治,池上 隆俊,藪内 隆稔,等. 半導体レーザ. JP1997148667A[P]. 1997-06-06.
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JP1997148667A.PDF(20KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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