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热源隔离可控导电率的垂直腔面发射激光器
其他题名热源隔离可控导电率的垂直腔面发射激光器
程澎; 林世鸣
2001-10-10
专利权人集成光电子学国家重点联合实验室半导体所实验区
公开日期2001-10-10
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要一种热源隔离可控导电率的垂直腔面发射激光器,其衬底下为下电极,衬底上设有N型DBR,N型DBR上为有源区,有源区上为P型DBR,上电极设置在P型DBR顶部,其中所述的有源区中间设有一绝缘层,将有源区分为低电阻率截止的横向导流通道和下有源区,绝缘层远离P型DBR一侧对应开设导电孔区,对应导电孔区轴向垂直位置的有源区上方设有上侧P型DBR。本发明既克服了顶部注入电极式严重器件发热的问题,又避免了侧向注入电极制作工艺复杂问题,保证产品性能,并且还能够控制调节导电率。
其他摘要一种热源隔离可控导电率的垂直腔面发射激光器,其衬底下为下电极,衬底上设有N型DBR,N型DBR上为有源区,有源区上为P型DBR,上电极设置在P型DBR顶部,其中所述的有源区中间设有一绝缘层,将有源区分为低电阻率截止的横向导流通道和下有源区,绝缘层远离P型DBR一侧对应开设导电孔区,对应导电孔区轴向垂直位置的有源区上方设有上侧P型DBR。本发明既克服了顶部注入电极式严重器件发热的问题,又避免了侧向注入电极制作工艺复杂问题,保证产品性能,并且还能够控制调节导电率。
申请日期2000-04-05
专利号CN1316811A
专利状态失效
申请号CN00105729
公开(公告)号CN1316811A
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/187 | H01S5/024 | H01S50/24 | H01S51/87
专利代理人刘芳
代理机构北京三友知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/75514
专题半导体激光器专利数据库
作者单位集成光电子学国家重点联合实验室半导体所实验区
推荐引用方式
GB/T 7714
程澎,林世鸣. 热源隔离可控导电率的垂直腔面发射激光器. CN1316811A[P]. 2001-10-10.
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