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半導体装置
其他题名半導体装置
藪▲崎▼ 慶一; 大久保 典雄
2006-09-28
专利权人古河電気工業株式会社
公开日期2006-09-28
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】半導体装置の加工精度および生産効率を高めること。 【解決手段】半導体レーザ装置は、半導体基板2の上面に、下側クラッド層3、活性層4、上側クラッド層5、コンタクト層9、絶縁膜6が生成されている。また、上側クラッド層5、コンタクト層9、絶縁膜6は、エッチングによってリッジ部12をなしている。さらに、半導体基板2の下面に負電極1が生成され、多層膜基板31の上面には導電体層7が生成されている。また、導電体層7は、リッジ部12の側面において少なくとも150nmの厚みを有し、リッジ部12は砂時計形の断面形状を有する。 【選択図】図1
其他摘要要解决的问题:提高半导体器件的加工精度和生产率。ŽSOLUTION:半导体激光器件在半导体衬底2的表面上具有下包层3,有源层4,上包层5,接触层9和绝缘膜6.此外,上包层5接触层9和绝缘膜6通过蚀刻形成脊12。另外,在半导体衬底2的下表面上形成负电极1,在多层薄膜衬底31的上表面上形成导电材料层7.此外,导电材料层7的厚度为在脊12的侧面处的至少150nm并且脊12具有沙漏横截面的形状。Ž
申请日期2006-06-26
专利号JP2006261706A
专利状态授权
申请号JP2006175906
公开(公告)号JP2006261706A
IPC 分类号H01S5/22 | H01S5/00
专利代理人酒井 宏明
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/73787
专题半导体激光器专利数据库
作者单位古河電気工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
藪▲崎▼ 慶一,大久保 典雄. 半導体装置. JP2006261706A[P]. 2006-09-28.
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