一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪

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	一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪
其他题名	一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪
	秦朝朝; 王腾远; 武佳美; 茹媛; 徐潇雅; 高怡雯
	2018-12-07
专利权人	河南师范大学
公开日期	2018-12-07
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪，包括相干光源及偏振延迟系统和同步移相系统，相干光源及偏振延迟系统1包括半导体激光器、1/2波片、第一1/4波片、第一全反镜、第二1/4波片、第二全反镜、偏振分光棱镜、一维导轨，同步移相系统包括反射镜、第一光阑、第一透镜、第三1/4波片、第二透镜、第二光阑、偏振片组、第三透镜、CCD、数据采集卡、计算机和二维正交全息光栅，激光器和偏振分光棱镜之间设置有1/2波片，偏振分光棱镜和第一全反镜、第二全反镜之间分别设置有第一1/4波片和第二1/4波片。本发明可有效的解决振动产生对测量结果的影响问题，具有超强的抗干扰能力，并且能够实现高精度的测量。
其他摘要	本发明公开了一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪，包括相干光源及偏振延迟系统和同步移相系统，相干光源及偏振延迟系统1包括半导体激光器、1/2波片、第一1/4波片、第一全反镜、第二1/4波片、第二全反镜、偏振分光棱镜、一维导轨，同步移相系统包括反射镜、第一光阑、第一透镜、第三1/4波片、第二透镜、第二光阑、偏振片组、第三透镜、CCD、数据采集卡、计算机和二维正交全息光栅，激光器和偏振分光棱镜之间设置有1/2波片，偏振分光棱镜和第一全反镜、第二全反镜之间分别设置有第一1/4波片和第二1/4波片。本发明可有效的解决振动产生对测量结果的影响问题，具有超强的抗干扰能力，并且能够实现高精度的测量。
申请日期	2018-08-08
专利号	CN108955516A
专利状态	申请中
申请号	CN201810899243.1
公开（公告）号	CN108955516A
IPC 分类号	G01B9/02
专利代理人	路宽
代理机构	新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/73654
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	河南师范大学
推荐引用方式 GB/T 7714	秦朝朝,王腾远,武佳美,等. 一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪. CN108955516A[P]. 2018-12-07.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN108955516A.PDF（326KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文