一种垂直腔面发射激光器及其制作方法

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	一种垂直腔面发射激光器及其制作方法
其他题名	一种垂直腔面发射激光器及其制作方法
	范鑫烨; 姜夕梅; 白成林; 房文敬; 牛慧娟
	2019-09-24
专利权人	聊城大学
公开日期	2019-09-24
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	本发明公开一种垂直腔面发射激光器及其制作方法。其中，所述激光器包括：依次层叠的N电极、衬底、第一缓冲层、第一分布布拉格反射镜组、有源层、第二分布布拉格反射镜组和第二缓冲层，对第二缓冲层、第二分布布拉格反射镜组和有源层进行刻蚀形成的圆柱形台体以及围绕所述圆柱形台体的第一分布布拉格反射镜组的部分表面，在圆柱形台体的侧壁和部分表面上形成的掩膜，和位于第二缓冲层上的P电极；本发明提供的垂直腔面发射激光器及其制作方法，通过有源层的量子阱结构、第一分布布拉格反射镜组和第二分布布拉格反射镜组，实现超窄线宽和平顶陡边光谱响应，能够降低VCSEL的阈值电流，提高光电转换效率。
其他摘要	本发明公开一种垂直腔面发射激光器及其制作方法。其中，所述激光器包括：依次层叠的N电极、衬底、第一缓冲层、第一分布布拉格反射镜组、有源层、第二分布布拉格反射镜组和第二缓冲层，对第二缓冲层、第二分布布拉格反射镜组和有源层进行刻蚀形成的圆柱形台体以及围绕所述圆柱形台体的第一分布布拉格反射镜组的部分表面，在圆柱形台体的侧壁和部分表面上形成的掩膜，和位于第二缓冲层上的P电极；本发明提供的垂直腔面发射激光器及其制作方法，通过有源层的量子阱结构、第一分布布拉格反射镜组和第二分布布拉格反射镜组，实现超窄线宽和平顶陡边光谱响应，能够降低VCSEL的阈值电流，提高光电转换效率。
申请日期	2017-06-28
专利号	CN107240857B
专利状态	授权
申请号	CN201710509464.9
公开（公告）号	CN107240857B
IPC 分类号	H01S5/183 \| H01S5/34
专利代理人	王庆龙 \| 曹杰
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/72571
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	聊城大学
推荐引用方式 GB/T 7714	范鑫烨,姜夕梅,白成林,等. 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法. CN107240857B[P]. 2019-09-24.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN107240857B.PDF（533KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文