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一种垂直腔面发射激光器
其他题名一种垂直腔面发射激光器
陈柱元; 罗玉辉
2019-03-26
专利权人深亮智能技术(中山)有限公司
公开日期2019-03-26
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种垂直腔面发射激光器,包括衬底,在衬底上依次层叠有基板、底部n型DBR反射镜、第一氧化限制层、n型引导间隔层、有源区层、p型渐变间隔层、第二氧化限制层、第一间隔层、第三氧化限制层、第二间隔层、第四氧化限制层、第三间隔层、第五氧化限制层、第四间隔层、第六氧化限制层、第五间隔层、第七氧化限制层、第六间隔层、第八氧化限制层、顶部p型DBR反射镜、p型接触层和p侧电极;在衬底远离基板的一面设有n侧电极。其优点在于:能够稳定实现单模运行,并且具有低光学损耗、低能耗和低寄生电容的优点。
其他摘要本发明公开了一种垂直腔面发射激光器,包括衬底,在衬底上依次层叠有基板、底部n型DBR反射镜、第一氧化限制层、n型引导间隔层、有源区层、p型渐变间隔层、第二氧化限制层、第一间隔层、第三氧化限制层、第二间隔层、第四氧化限制层、第三间隔层、第五氧化限制层、第四间隔层、第六氧化限制层、第五间隔层、第七氧化限制层、第六间隔层、第八氧化限制层、顶部p型DBR反射镜、p型接触层和p侧电极;在衬底远离基板的一面设有n侧电极。其优点在于:能够稳定实现单模运行,并且具有低光学损耗、低能耗和低寄生电容的优点。
申请日期2018-12-05
专利号CN109524878A
专利状态授权
申请号CN201811477564.9
公开(公告)号CN109524878A
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/187
专利代理人王洪娟 | 冼俊鹏
代理机构广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/72411
专题半导体激光器专利数据库
作者单位深亮智能技术(中山)有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
陈柱元,罗玉辉. 一种垂直腔面发射激光器. CN109524878A[P]. 2019-03-26.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
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