Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| Semiconductor device | |
| 其他题名 | Semiconductor device |
| JUN, CHI HOON; NA, JEHO; JUNG, DONG YUN; KO, SANG CHOON; NAM, EUN SOO; LEE, HYUNG SEOK | |
| 2017-04-04 | |
| 专利权人 | ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE |
| 公开日期 | 2017-04-04 |
| 授权国家 | 美国 |
| 专利类型 | 授权发明 |
| 摘要 | Provided is a semiconductor device. The semiconductor device includes a substrate including a cantilever configured to generate a flow of cooling media through dynamic movement, an active area on the substrate which an electronic device is provided on, an insulation layer disposed to be spaced apart from the active area on the substrate, a lower electrode on the insulation layer, a piezoelectric film on the lower electrode, and an upper electrode on the piezoelectric film. |
| 其他摘要 | 提供一种半导体器件。该半导体器件包括：基板，包括：悬臂，配置为通过动态运动产生冷却介质流;基板上的有源区，电子器件设置在其上;绝缘层，设置为与基板上的有源区间隔开绝缘层上的下电极，下电极上的压电膜和压电膜上的上电极。 |
| 申请日期 | 2015-10-01 |
| 专利号 | US9613884 |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | US14/872868 |
| 公开（公告）号 | US9613884 |
| IPC 分类号 | H01L23/34 | H01L23/467 |
| 专利代理人 | - |
| 代理机构 | RABIN & BERDO, P.C. |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/72293 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | JUN, CHI HOON,NA, JEHO,JUNG, DONG YUN,et al. Semiconductor device. US9613884[P]. 2017-04-04. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| US9613884.PDF（673KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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