微位移实时干涉测量仪

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	微位移实时干涉测量仪
其他题名	微位移实时干涉测量仪
	王向朝; 李代林; 刘英明
	2003-07-23
专利权人	中国科学院上海光学精密机械研究所
公开日期	2003-07-23
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	一种微位移实时干涉测量仪，其特点是它包括：带有第一直流电源的光源，在该光源发射光束前进方向上同光轴地依次置有第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体；在该分束器的反射光束f2方向置有接收元件，其输出送单片机，再接显示器；在该偏振分束器的反射光束f1前进的方向上，依次置有第二透镜和调制光源；该调制光源带有驱动器，该驱动器连接第二直流电源和移相器，该移相器另一端接正弦信号发生器，该正弦信号发生器经控制器接单片机。该光源和调制光源发出的光束是偏振面相互垂直的偏振光。本发明的优点是能高精度地实时完成信号的采集、处理和显示，而且操作简便、测量数据可靠。
其他摘要	一种微位移实时干涉测量仪，其特点是它包括：带有第一直流电源的光源，在该光源发射光束前进方向上同光轴地依次置有第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体；在该分束器的反射光束f2方向置有接收元件，其输出送单片机，再接显示器；在该偏振分束器的反射光束f1前进的方向上，依次置有第二透镜和调制光源；该调制光源带有驱动器，该驱动器连接第二直流电源和移相器，该移相器另一端接正弦信号发生器，该正弦信号发生器经控制器接单片机。该光源和调制光源发出的光束是偏振面相互垂直的偏振光。本发明的优点是能高精度地实时完成信号的采集、处理和显示，而且操作简便、测量数据可靠。
申请日期	2003-02-14
专利号	CN1431478A
专利状态	失效
申请号	CN03115410.7
公开（公告）号	CN1431478A
IPC 分类号	G01B9/02 \| G01J9/00 \| G01J9/02
专利代理人	张泽纯
代理机构	上海新天专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/70360
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王向朝,李代林,刘英明. 微位移实时干涉测量仪. CN1431478A[P]. 2003-07-23.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN1431478A.PDF（384KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文