Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| レーザ加工装置 | |
| 其他题名 | レーザ加工装置 |
| 相澤 賢 | |
| 2016-12-08 | |
| 专利权人 | 住友重機械工業株式会社 |
| 公开日期 | 2016-12-08 |
| 授权国家 | 日本 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 【課題】レーザダイオードの駆動条件を短時間で決定することが可能なレーザ加工装置を提供する。 【解決手段】伝搬光学系が、レーザダイオードからステージに保持された加工対象物にパルスレーザビームを導く。制御装置が、加工対象物に入射させるパルスレーザビームのパルス幅、パルスの繰り返し周波数、及びパルスエネルギ密度を規定する加工レシピと、レーザダイオードの駆動条件との関係を定義する関係定義データを記憶している。制御装置は、入力装置を通して加工レシピが入力されると、入力された加工レシピと、関係定義データとに基づいて、レーザダイオードの駆動条件を決定し、決定された駆動条件でレーザダイオードを駆動する。 【選択図】図1 |
| 其他摘要 | 要解决的问题：提供一种能够在短时间内确定激光二极管的驱动条件的激光加工设备。 传播光学系统将来自激光二极管的脉冲激光束引导到保持在台上的工件上。控制装置存储关系定义数据，该关系定义数据定义了定义要入射到处理对象上的脉冲激光束的脉冲宽度的处理配方，脉冲的重复频率和脉冲能量密度之间的关系，以及激光二极管的驱动条件。它有。当通过输入装置输入处理配方时，控制装置基于输入处理配方和关系定义数据确定激光二极管的驱动条件，并在确定的驱动条件下驱动激光二极管。 点域1 |
| 申请日期 | 2015-04-20 |
| 专利号 | JP2016207758A |
| 专利状态 | 申请中 |
| 申请号 | JP2015085589 |
| 公开（公告）号 | JP2016207758A |
| IPC 分类号 | H01L21/268 | B23K26/00 | H01S5/0683 | H01L21/265 |
| 专利代理人 | 来山 幹雄 |
| 代理机构 | - |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/70226 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 住友重機械工業株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 相澤 賢. レーザ加工装置. JP2016207758A[P]. 2016-12-08. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| JP2016207758A.PDF（80KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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