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Laser diodes comprising QWI output window and waveguide areas and methods of manufacture
其他题名Laser diodes comprising QWI output window and waveguide areas and methods of manufacture
CHANG, CHWAN-YANG; CHEN, CHIEN-CHIH; HU, MARTIN, H.; NGUYEN, HONG, KY; ZAH, CHUNG-EN
2011-10-27
专利权人CORNING INCORPORATED
公开日期2011-10-27
授权国家世界知识产权组织
专利类型发明申请
摘要In accordance with one embodiment of the present disclosure, a process of manufacturing a semiconductor laser diode comprising a gain section, a QWI output window, and QWI waveguide areas is provided. The QWI waveguide areas are fabricated using quantum well intermixing and define a QWI waveguide portion in the QWI output window of the laser diode. The QWI output window is transparent to the lasing wavelength ?L. The QWI waveguide portion in the QWI output window is characterized by an energy bandgap that is larger than an energy bandgap of the gain section such that the band gap wavelength ?QWI in the QWI waveguide portion and the QWI output window is shorter than the lasing wavelength ?L. The QWI output window is characterized by a photoluminescent wavelength ?PL. The manufacturing process comprises a ?PL screening protocol that determines laser diode reliability based on a comparison of the lasing wavelength and the photoluminescent wavelength ?L of the QWI output window. Additional embodiments are disclosed and claimed.
其他摘要根据本公开的一个实施例,提供了一种制造半导体激光二极管的工艺,该半导体激光二极管包括增益部分,QWI输出窗口和QWI波导区域。 QWI波导区域使用量子阱混合制造,并在激光二极管的QWI输出窗口中定义QWI波导部分。 QWI输出窗口对激光发射波长λL是透明的。 QWI输出窗口中的QWI波导部分的特征在于能带隙大于增益部分的能带隙,使得QWI波导部分和QWI输出窗口中的带隙波长ΔQWI短于激射波长。 ·L。 QWI输出窗口的特征在于光致发光波长λPL。制造过程包括?PL筛选协议,其基于激光波长和QWI输出窗口的光致发光波长λL的比较来确定激光二极管可靠性。公开并要求保护其他实施例。
申请日期2011-04-12
专利号WO2011133357A2
专利状态未确认
申请号PCT/US2011/032048
公开(公告)号WO2011133357A2
IPC 分类号B01J19/00 | F16L19/02 | B01L3/00
专利代理人SHORT, SVETLANA, Z.
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/68398
专题半导体激光器专利数据库
作者单位CORNING INCORPORATED
推荐引用方式
GB/T 7714
CHANG, CHWAN-YANG,CHEN, CHIEN-CHIH,HU, MARTIN, H.,et al. Laser diodes comprising QWI output window and waveguide areas and methods of manufacture. WO2011133357A2[P]. 2011-10-27.
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