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高功率半导体激光器可靠性检测方法
其他题名高功率半导体激光器可靠性检测方法
石家纬; 郭树旭; 梁庆成; 曹军胜; 刘奎学; 李红岩
2008-05-21
专利权人吉林大学
公开日期2008-05-21
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明属于一种检测分析方法,具体涉及一种针对高功率半导体激光器及阵列激光器的质量和可靠性进行检测和筛选的方法。首先测出激光器V-I和P-I曲线,经计算机处理得到电导数曲线IdV/dI~I和光导数曲线dP/dI~I、d2P/dI2~I,然后从光导数曲线d2P/dI2~I或电导数曲线IdV/dI~I得到被测器件的阈值电流Ith,从而得到b、m、Rs1、Rs2、h各参数,再由二阶光导数曲线阈值处的峰高H,峰宽W,峰高峰宽之比Q给出激光器激射时的光特征;最后将所得的各参数与同种结构的器件参数的正常值相比较,从而判定所检测的高功率半导体激光器或阵列激光器的质量和可靠性。本发明方法对器件的筛选具有无损快速简便的特点,适合于广泛使用。
其他摘要本发明属于一种检测分析方法,具体涉及一种针对高功率半导体激光器及阵列激光器的质量和可靠性进行检测和筛选的方法。首先测出激光器V-I和P-I曲线,经计算机处理得到电导数曲线IdV/dI~I和光导数曲线dP/dI~I、d2P/dI2~I,然后从光导数曲线d2P/dI2~I或电导数曲线IdV/dI~I得到被测器件的阈值电流Ith,从而得到b、m、Rs1、Rs2、h各参数,再由二阶光导数曲线阈值处的峰高H,峰宽W,峰高峰宽之比Q给出激光器激射时的光特征;最后将所得的各参数与同种结构的器件参数的正常值相比较,从而判定所检测的高功率半导体激光器或阵列激光器的质量和可靠性。本发明方法对器件的筛选具有无损快速简便的特点,适合于广泛使用。
主权项高功率半导体激光器及阵列激光器质量和可靠性检测和筛选的方法,其步骤如下: ①  测出被检测的高功率半导体激光器或阵列激光器的V-1和P-I曲线,经计算机处理得到电导数曲线IdV/dI~I和光导数曲线dP/dI~I、d2P/dI2~I,其中I是激光器的驱动电流,V是激光器的驱动电压,P是激光器输出的光功率; ②  从光导数曲线d2P/dI2~I或电导数曲线IdV/dI~I得到被测器件的阈值电流Ith,对IdV/dI~I曲线在阈值电流Ith前后两部分曲线进行直线拟和,得到两个斜率和截距,阈值前部分的截距为mkT/q,斜率为Rs1,阈值后部分的截距为b,称为b参数,斜率为Rs2,m为结特征参量,k为波尔兹曼常数,T为被测器件的绝对温度,q为电子电荷,Rs1、Rs2为阈值前后的串联电阻,由阈值电流Ith附近曲线的极大值与极小值的差值得到下沉高度h; ③  由二阶光导数曲线阈值处的峰高H,峰宽W,峰高峰宽之比Q给出激光器激射时的光特征; ④  将所得的各参数与同种结构的器件参数的正常值相比较,从而判定所检测的高功率半导体激光器或阵列激光器的质量和可靠性。
申请日期2007-12-18
专利号CN101183136A
专利状态失效
申请号CN200710193565.6
公开(公告)号CN101183136A
IPC 分类号G01R31/26 | H01S5/00 | G01M11/00 | G01R31/00
专利代理人张景林 | 刘喜生
代理机构长春吉大专利代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66951
专题半导体激光器专利数据库
作者单位吉林大学
推荐引用方式
GB/T 7714
石家纬,郭树旭,梁庆成,等. 高功率半导体激光器可靠性检测方法. CN101183136A[P]. 2008-05-21.
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