一种旋转棱镜式多组份痕量气体浓度测量装置

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	一种旋转棱镜式多组份痕量气体浓度测量装置
其他题名	一种旋转棱镜式多组份痕量气体浓度测量装置
	朱小明; 王晓东; 李丙玉
	2015-09-09
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2015-09-09
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种旋转棱镜式多组份痕量气体浓度测量装置，属于吸收光谱法测量技术领域。解决了现有技术中测量装置成本高、测量结果不准确的问题。本发明的装置包括N个半导体激光器、N个第一折转镜、旋转台、选择棱镜、准直隔离器、模式匹配镜、反射谐振腔、光电探测器和数据处理模块，每个半导体激光器发射的光束先经光纤传输至相对应的第一折转镜，然后经选择棱镜反射后，从P点沿旋转台的旋转轴X依次经准直隔离器和模式匹配镜后进入反射谐振腔，从反射谐振腔出射后，再入射光电探测器，光电探测器将接收的光信号转换成电信号并传输至数据处理模块，数据处理模块对接收的电信号进行分析。该装置成本低，便于光路保持、测量误差小。
其他摘要	本发明公开了一种旋转棱镜式多组份痕量气体浓度测量装置，属于吸收光谱法测量技术领域。解决了现有技术中测量装置成本高、测量结果不准确的问题。本发明的装置包括N个半导体激光器、N个第一折转镜、旋转台、选择棱镜、准直隔离器、模式匹配镜、反射谐振腔、光电探测器和数据处理模块，每个半导体激光器发射的光束先经光纤传输至相对应的第一折转镜，然后经选择棱镜反射后，从P点沿旋转台的旋转轴X依次经准直隔离器和模式匹配镜后进入反射谐振腔，从反射谐振腔出射后，再入射光电探测器，光电探测器将接收的光信号转换成电信号并传输至数据处理模块，数据处理模块对接收的电信号进行分析。该装置成本低，便于光路保持、测量误差小。
主权项	旋转棱镜式多组份痕量气体浓度测量装置，包括N个半导体激光器、准直隔离器(5)、模式匹配镜(6)、反射谐振腔(7)、光电探测器(9)和数据处理模块(10)，其特征在于，还包括N个第一折转镜(2)、旋转台(3)和选择棱镜(4)；所述选择棱镜(4)固定在旋转台(3)上；所述N个半导体激光器以旋转台(3)旋转轴X为中心分布于同一圆周上，半导体激光器与第一折转镜(2)一一对应，每个半导体激光器工作在nλ0、nλ0/2或者nλ0/4覆盖的反射率在0.9999以上的波长范围内，n为反射谐振腔(8)内多层膜反射镜的等效折射率，λ0为反射谐振腔(7)内多层膜反射镜的中心波长；所述N个第一折转镜(2)的输出光束均在同一平面A内，垂直于旋转台(3)的旋转轴X且与选择棱镜(4)交于同一点P； N为大于等于2的整数；所述装置的光路走向为：每个半导体激光器发射的光束先经光纤传输至相对应的第一折转镜(2)，然后经选择棱镜(4)反射后，从P点沿旋转台(3)的旋转轴X依次经准直隔离器(5)和模式匹配镜(6)后进入反射谐振腔(7)，从反射谐振腔(7)出射后，再入射光电探测器(9)，光电探测器(9)将接收的光信号转换成电信号并传输至数据处理模块(10)，数据处理模块(10)对接收的电信号进行分析。
申请日期	2015-05-26
专利号	CN104897610A
专利状态	失效
申请号	CN201510274348.4
公开（公告）号	CN104897610A
IPC 分类号	G01N21/39
专利代理人	王丹阳
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66920
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	朱小明,王晓东,李丙玉. 一种旋转棱镜式多组份痕量气体浓度测量装置. CN104897610A[P]. 2015-09-09.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN104897610A.PDF（550KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文