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一种半导体激光器TO封装工艺及封装管座
其他题名一种半导体激光器TO封装工艺及封装管座
苏建; 汤庆敏; 于果蕾; 夏伟; 王海卫; 李佩旭; 刘长江
2010-01-13
专利权人山东华光光电子有限公司
公开日期2010-01-13
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供了一种半导体激光器TO封装工艺及封装管座,该TO封装工艺包括以下步骤:(1)按常规在管舌上完成芯片粘结、合金、键合及光电测试;(2)在管舌的上端面粘结柱透镜,使柱透镜处于芯片发光腔面的上方,柱透镜的中心面与芯片发光腔面平行;(3)将与TO管座型号对应的管帽封装在TO管座上。该TO封装管座包括管壳、管舌和管脚三部分;管壳呈圆柱体,该圆柱体的侧面有一凹槽,管舌设在管壳上面,管舌呈半圆柱体。本发明避免了芯片和柱透镜分别安装在TO管座和管帽上造成的柱透镜污染、工艺繁琐等问题,简化了半导体激光器的光束压缩工艺步骤,提高了工作效率,保证了产品质量。
其他摘要本发明提供了一种半导体激光器TO封装工艺及封装管座,该TO封装工艺包括以下步骤:(1)按常规在管舌上完成芯片粘结、合金、键合及光电测试;(2)在管舌的上端面粘结柱透镜,使柱透镜处于芯片发光腔面的上方,柱透镜的中心面与芯片发光腔面平行;(3)将与TO管座型号对应的管帽封装在TO管座上。该TO封装管座包括管壳、管舌和管脚三部分;管壳呈圆柱体,该圆柱体的侧面有一凹槽,管舌设在管壳上面,管舌呈半圆柱体。本发明避免了芯片和柱透镜分别安装在TO管座和管帽上造成的柱透镜污染、工艺繁琐等问题,简化了半导体激光器的光束压缩工艺步骤,提高了工作效率,保证了产品质量。
主权项一种半导体激光器TO封装工艺,其特征是:包括以下步骤: (1)首先按常规在管舌上蒸发焊料,将半导体激光器的芯片粘结在管舌侧面的中间,并使芯片发光腔面与管舌的上端面平齐,再进行合金、键合及光电测试; (2)然后利用光学调节架在管舌的上端面粘结柱透镜,使柱透镜处于芯片发光腔面的上方,柱透镜的中心面与芯片发光腔面平行,柱透镜中心面与芯片发光腔面的距离为80um~310um; (3)将与TO管座型号对应的管帽封装在TO管座上。
申请日期2009-08-11
专利号CN101626139A
专利状态失效
申请号CN200910017589.5
公开(公告)号CN101626139A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S5/022 | H01S5/06
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66399
专题半导体激光器专利数据库
作者单位山东华光光电子有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
苏建,汤庆敏,于果蕾,等. 一种半导体激光器TO封装工艺及封装管座. CN101626139A[P]. 2010-01-13.
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