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Semiconductor optical waveguide element
其他题名Semiconductor optical waveguide element
EHATA TOSHIKI; SASAYA YUKIHIRO; NISHIWAKI YOSHIKAZU; MATSUOKA HARUJI
1982-11-02
专利权人SUMITOMO DENKI KOGYO KK
公开日期1982-11-02
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要PURPOSE:To enable monolithic structure with every kind of semiconductor elements by forming plane multilayer structure formed by combining a high carrier concentration layer and a low carrier concentration layer, and a layer functioning as a waveguide layer. CONSTITUTION:Buffer layers 22 and waveguide layers 23 consists of N-AlY Ga1-YAs and N-AlXGa1-XAs of low carrier concentration (1-50X10cm), and substrates 24 in a figure a are obtained by growing N-AlZGa1-ZAs of high carrier concentration (1-50X10cm), to which Sn, Te, Se, Pb, etc. are doped, onto GaAs crystal substrates 25 of high carrier concentration in epitaxial shape. However, when Al concentration X, Y, Z(0<=X<1, 0
其他摘要目的:通过形成通过组合高载流子浓度层和低载流子浓度层形成的平面多层结构,以及用作波导层的层,实现与各种半导体元件的单片结构。组成:缓冲层22和波导层23由低载流子浓度(1-50×10 15 cm -3)的N-AlY Ga1-YAs和N-AlXGa1-XAs组成,并获得图a中的基板24通过将掺杂有Sn,Te,Se,Pb等的高载流子浓度(1-50×10 17 cm -3)的N + -AlZGa1-ZAs生长到高的GaAs晶体衬底25上外延形状的载流子浓度。然而,当Al浓度X,Y,Z(0 <= X <1,0
主权项-
申请日期1981-04-27
专利号JP1982178397A
专利状态失效
申请号JP1981064897
公开(公告)号JP1982178397A
IPC 分类号G02B6/122 | H01L27/15 | H01S5/00 | H01S5/10 | G02B5/172 | H01L33/00 | H01S3/18
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65968
专题半导体激光器专利数据库
作者单位SUMITOMO DENKI KOGYO KK
推荐引用方式
GB/T 7714
EHATA TOSHIKI,SASAYA YUKIHIRO,NISHIWAKI YOSHIKAZU,et al. Semiconductor optical waveguide element. JP1982178397A[P]. 1982-11-02.
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JP1982178397A.PDF(107KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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