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Method of manufacturing an integrated optical device
其他题名Method of manufacturing an integrated optical device
PLIHAL, MANFRED, DR.; SCHLÖTTERER, HEINRICH, DR.; TROMMER, REINER, DR.
1986-07-16
专利权人SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
公开日期1986-07-16
授权国家欧洲专利局
专利类型发明申请
摘要An integrated structure for bi-directional optical fiber transmission has a laser diode, a photodetector, and a bi-directional optical waveguide integrated on a common substrate, the waveguide guiding radiation from the laser diode out of the structure and directing incoming radiation of a different wavelength through the structure to the photodetector. The structure also includes a passive optical component cooperating with the strip waveguide for substantially isolating the radiation propagated in one direction in the waveguide from the laser diode, and substantially isolating the radiation propagated in the opposite direction in the waveguide from the photodetector. A method for manufacturing this structure includes essentially growing two epitaxial multi-layer structures spaced from each other and covering selected portions of the substrate constituting the laser diode and the photodetector, with the strip waveguide extending therebetween.
其他摘要用于双向光纤传输的集成结构具有激光二极管,光电探测器和集成在公共基板上的双向光波导,该波导将来自激光二极管的辐射引导出结构并引导不同的入射辐射波长通过结构到光电探测器。该结构还包括与带状波导配合的无源光学部件,用于基本上隔离在波导中沿一个方向传播的辐射与激光二极管,并且基本上将在波导中沿相反方向传播的辐射与光电探测器隔离。制造这种结构的方法包括基本上生长两个外延多层结构,这两个外延多层结构彼此隔开并覆盖构成激光二极管和光电探测器的基板的选定部分,条形波导在它们之间延伸。
主权项-
申请日期1985-09-09
专利号EP0187198A2
专利状态失效
申请号EP1985111386
公开(公告)号EP0187198A2
IPC 分类号G02B6/122 | G02B6/34 | G02B6/42 | H01L27/15 | H01L33/00 | H01S5/00 | H01S5/026 | H01S5/12 | H04B10/40 | G02B6/12 | H01L31/02
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65853
专题半导体激光器专利数据库
作者单位SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
推荐引用方式
GB/T 7714
PLIHAL, MANFRED, DR.,SCHLÖTTERER, HEINRICH, DR.,TROMMER, REINER, DR.. Method of manufacturing an integrated optical device. EP0187198A2[P]. 1986-07-16.
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