密封装单片式微通道热沉冷却激光二极管阵列的制备

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	密封装单片式微通道热沉冷却激光二极管阵列的制备
其他题名	密封装单片式微通道热沉冷却激光二极管阵列的制备
	廖新胜; 刘云; 王立军
	2002-09-04
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2002-09-04
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明属于半导体光电子技术中对密封装多片式微通道热沉冷却激光二极管阵列制备方法的改进。微通道制备在扣焊二极管激光器阵列条的同一片热导体上,由于微通道离二极管激光器阵列条所扣焊位置的距离很近,二极管激光器阵列条产生的热量很快进入微通道里,冷却液进入微通道后与微通道充分接触,热量通过受迫热传导被流经微通道的冷却液带走,从而使微通道热沉工作在亚热容量饱和状态。本发明制备工艺简单实用,制作成本低,导热效果好,光输出功率密度大,可实现二极管激光器阵列的高密度封装,提高其性能价格比。为高功率半导体激光器阵列提供性能稳定可靠、易于散热、低热阻的密封装单片式微通道热沉冷却激光二极管阵列的制备。
其他摘要	本发明属于半导体光电子技术中对密封装多片式微通道热沉冷却激光二极管阵列制备方法的改进。微通道制备在扣焊二极管激光器阵列条的同一片热导体上,由于微通道离二极管激光器阵列条所扣焊位置的距离很近,二极管激光器阵列条产生的热量很快进入微通道里,冷却液进入微通道后与微通道充分接触,热量通过受迫热传导被流经微通道的冷却液带走,从而使微通道热沉工作在亚热容量饱和状态。本发明制备工艺简单实用,制作成本低,导热效果好,光输出功率密度大,可实现二极管激光器阵列的高密度封装,提高其性能价格比。为高功率半导体激光器阵列提供性能稳定可靠、易于散热、低热阻的密封装单片式微通道热沉冷却激光二极管阵列的制备。
主权项	密封装单片式微通道热沉冷却激光二极管阵列的制备，其特征在于制备步骤是： a、将热导体表面抛光并清洗干净并制备出通透的微通道和固定孔； b、将步骤a再一次抛光表面并清洗干净，然后在热导体本体上扣焊激光二极管阵列条区的正反两面及相应的侧面分别镀上多层导电金属薄膜并金属化，再对其正面或反面镀上焊料； c、选取绝缘材料并抛光正反两面，清洗干净后分别制备通冷却液孔和固定孔，使通冷却液孔的面积略大于微通道所占的面积，选取绝缘材料的厚度与激光二极管阵列条的厚度一致； d、选取绝缘弹性塑料并清洗干净并制备透孔其大小与微通道一致，绝缘弹性塑料的大小与通冷却液孔一致，绝缘弹性塑料略厚于绝缘材料； e、选取固体材料并清洗干净并在其上制备出不透的槽、固定孔、冷却液进、出孔，槽与冷却液进、出孔连通，槽的底部面积与微通道所占面积一致； f、先将激光二极管阵列条倒扣焊在扣焊激光二极管阵列条区上，再将绝缘弹性塑料放入通冷却液孔内，然后将图1、2、3的相应位置固定在一起，形成一个激光二极管阵列单元； g、也可以利用双面烧结技术，将激光二极管阵列条的n面和p面分别烧焊在两片热导体的两个扣焊激光二极管阵列条区的位置处；同时将绝缘弹性塑料放入通冷却液孔中，并将它们固定在两片热导体之间的相应位置，形成三明治式结构的激光二极管阵列单元； h、将多个f或g这样结构的单元同向排齐并在其两端分别加上冷却液导引板，用固定杆通过固定孔拧紧固定，实现很好的水密封和电接触，最后焊上正电极和负电极，制成完整的密封装高效单片式微通道热沉冷却激光二极管阵列。
申请日期	2002-02-01
专利号	CN1367557A
专利状态	失效
申请号	CN02109136.6
公开（公告）号	CN1367557A
IPC 分类号	H01S5/00 \| H01S5/024
专利代理人	梁爱荣
代理机构	长春科宇专利代理有限责任公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65368
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	廖新胜,刘云,王立军. 密封装单片式微通道热沉冷却激光二极管阵列的制备. CN1367557A[P]. 2002-09-04.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN1367557A.PDF（312KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文