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一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源
其他题名一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源
邓鑫李; 王峙皓
2008-04-30
专利权人长春德信光电技术有限公司
公开日期2008-04-30
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源,利用快轴准直镜对快轴进行准直,利用两个平凸柱面镜对慢轴进行准直,快轴准直后的光在慢轴分为两路传播,分别利用圆柱反射镜和光栅对两路光进行反馈,实现半导体激光器迭阵光亮度、窄线宽的激光输出。矩形平凸柱面镜和圆柱反射镜与半导体激光器迭阵较易组装。另外,通过调节矩形狭缝宽度可对激光输出亮度进行调节,通过旋转半波片可对输出激光功率进行调节。
其他摘要一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源,利用快轴准直镜对快轴进行准直,利用两个平凸柱面镜对慢轴进行准直,快轴准直后的光在慢轴分为两路传播,分别利用圆柱反射镜和光栅对两路光进行反馈,实现半导体激光器迭阵光亮度、窄线宽的激光输出。矩形平凸柱面镜和圆柱反射镜与半导体激光器迭阵较易组装。另外,通过调节矩形狭缝宽度可对激光输出亮度进行调节,通过旋转半波片可对输出激光功率进行调节。
主权项一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源,其构成如下:半导体激光器迭阵(1)、快轴准直镜(3)和光栅(9),所述的快轴准直镜(3)是微柱透镜或非球面镜,所述的光栅(9)为Littrow结构,其特征在于,所述的半导体激光器迭阵(1)是由多个相同的半导体激光器线阵(2)层叠而成,每个半导体激光器线阵(2)的快轴方向都设有快轴准直镜(3);快轴准直镜(3)后有一平凸柱面镜(4),平凸柱面镜(4)轴线方向与半导体激光器线阵(2)慢轴方向垂直,在平凸柱面镜(4)之后的上方是圆柱反射镜(5),其下方依次是矩形狭缝(6),半波片(7),平凸柱面镜(8)和光栅(9);所述的平凸柱面镜(4)将向上传播的一路光a,b会聚于圆柱反射镜(5)的轴线处,平凸柱面镜(4)和平凸柱面镜(8)平行共焦点放置,两平凸柱面镜凸面相对,矩形狭缝(6)放置在其焦点处,半波片(7)放置于其焦点与平凸柱面镜(8)之间,光束c,d经过平凸柱面镜(8)后平行地入射到光栅(9)上,其中光栅(9)的一阶衍射光沿原路返回提供反馈,零阶衍射光e,f作为激光输出,光栅(9)反馈实现纵模选择,压窄线宽; 所述的平凸柱面镜(4)和圆柱反射镜(5)构成向上的反馈腔(10); 所述的平凸柱面镜(4),矩形狭缝(6),半波片(7),平凸柱面镜(8)和光栅(9)构成向下的反馈腔(11);其中平凸柱面镜(4)和平凸柱面镜(8)形成了一个慢轴准直光学系统,对向下传播的一路光e,f进行准直,准直后平行入射到光栅(9)上; 所述的半导体激光器迭阵(1)后端面、圆柱反射镜(5)、光栅(9)形成一谐振腔(12)。
申请日期2007-08-21
专利号CN101170242A
专利状态失效
申请号CN200710055982.4
公开(公告)号CN101170242A
IPC 分类号H01S5/40 | H01S5/14 | G02F1/00
专利代理人马守忠
代理机构长春科宇专利代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65179
专题半导体激光器专利数据库
作者单位长春德信光电技术有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
邓鑫李,王峙皓. 一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源. CN101170242A[P]. 2008-04-30.
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