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インデックスガイド半導体ダイオードレーザを作製する方法
其他题名インデックスガイド半導体ダイオードレーザを作製する方法
ケヴィン ジェイ.ビアニンク; デービッド ピー.ボアー; トーマス エル.パオリ; ロス ディー.ブリンガンス; グレゴリー ジェイ.コヴァクス
1996-09-13
专利权人ゼロックス コーポレイション
公开日期1996-09-13
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】 不純物誘起層無秩序化(IILD)によって作製され、分岐リーク電流を減ずるために、半導体タイプの変換を要しないインデックスガイド半導体レーザの製造を提供する【解決手段】 次の工程を有する。(a)半導体基体上に、低部クラッド層と、活性層と、上部クラッド層と、上部クラッド層上のキャップ層とを含む半導体物質の層を設ける。(b)前記の層をストライプ領域の側部に位置する構造体領域に組み入れて、キャップ層からそこを通して、活性層の下のレベルまで下方に延び、かつ活性層よりも低い屈折率を有する側部無秩序化領域を形成する。なお、の無秩序化領域は、上部クラッド層とキャップ層とが逆の半導体タイプであり、且つ無秩序化領域とキャップ層との界面に、分岐接合を形成する表面部分を有する。(c)キャップ層に隣接する無秩序化領域の表面を置換し、分岐電流を防止するのに効果的な非導通性物質でシャントジャンクションを形成する。
其他摘要要解决的问题:通过杂质诱导层无序化(IILD)产生折射率引导半导体二极管激光器,并且消除了转换半导体类型以减小分支漏电流的必要性。解决方案:此方法包括以下步骤。在半导体衬底上提供包括下包层,有源层,上包层和上包层上的盖层的半导体材料层。该层结合在位于条纹区域的侧面部分上的结构区域中,并且横向无序区域从盖层穿过结构区域向下延伸到有源层下方的水平并且具有比有源层低的折射率。形成了。在该无序区域中,上包层和盖层具有反半导体类型,并且在无序区域和盖层之间的界面上提供形成分支结的表面部分。通过使用非导电材料形成分流结,该非导电材料有效地代替与盖层相邻的无序区域的表面并防止分支电流。
主权项-
申请日期1995-12-28
专利号JP1996236859A
专利状态失效
申请号JP1995344067
公开(公告)号JP1996236859A
IPC 分类号H01S5/343 | H01S | H01S5/227 | H01S5/34 | H01S5/20 | H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人中島 淳 (外1名)
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64176
专题半导体激光器专利数据库
作者单位ゼロックス コーポレイション
推荐引用方式
GB/T 7714
ケヴィン ジェイ.ビアニンク,デービッド ピー.ボアー,トーマス エル.パオリ,等. インデックスガイド半導体ダイオードレーザを作製する方法. JP1996236859A[P]. 1996-09-13.
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JP1996236859A.PDF(153KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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