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II-VI族化合物半導体及びその形成方法
其他题名II-VI族化合物半導体及びその形成方法
樋江井 太; 伊藤 哲; 秋本 克洋
1994-11-25
专利权人SONY CORP
公开日期1994-11-25
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【目的】高いネットアクセプター濃度(Na-Nd)を有するp型のII-VI族化合物半導体、及びその形成方法を提供する。 【構成】本発明のII-VI族化合物半導体は、I族元素、V族元素及び酸素元素をp型ドーパントとして含んで成る。II-VI族化合物半導体の形成方法は、基板上に、I族元素、V族元素及び酸素元素をp型ドーパントとして含んで成るp型II-VI族化合物半導体層を分子線エピタキシー法にて形成する。
其他摘要用途:通过一种方法获得高净受主浓度,其中使用由第I族元素,第V族元素和氧组成的化合物作为p型掺杂剂。组成:通过MBE方法,在由n型GaAs组成的化合物半导体衬底12的表面上形成由n型ZnGe组成的n型覆层14。然后,在由ZnCdSe构成的有源层16,由p型ZrSe构成的p型覆盖层18和构成的p型覆盖层20上形成由Au等构成的p型上部电极22。在基板12上形成p型ZnTe和由In构成的n型背电极24.由于使用由I族元素,V族元素和氧组成的化合物作为p型掺杂剂以这种方式,组I元素和组V元素进入组II元素和组VI元素的位点并充当受体。另外,由于氧元素以相同的方式起作用,因此可以实现净受体浓度,其由各个受体浓度的晶体浓度N1的总和决定。
主权项-
申请日期1993-05-13
专利号JP1994326138A
专利状态失效
申请号JP1993134100
公开(公告)号JP1994326138A
IPC 分类号H01L21/363 | C30B29/48 | H01S5/00 | C30B23/08 | H01S3/18
专利代理人山本 孝久
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64161
专题半导体激光器专利数据库
作者单位SONY CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
樋江井 太,伊藤 哲,秋本 克洋. II-VI族化合物半導体及びその形成方法. JP1994326138A[P]. 1994-11-25.
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