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一种边发射半导体激光器腔面的再生方法
其他题名一种边发射半导体激光器腔面的再生方法
王亚楠; 李耀耀; 王庶民; 曹春芳
2016-07-06
专利权人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
公开日期2016-07-06
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明涉及一种边发射半导体激光器腔面的再生方法,包括:(1)采用高选择比腐蚀剂对失效的边发射半导体激光器进行选择性腐蚀,在激光器两端损坏的谐振腔腔面处形成悬臂结构;(2)采用压针对上述悬臂结构外侧靠近激光器腔面处施加外力,使得损坏的腔面自然解理,形成新的腔面。本发明可以使由于COD问题失效的激光器,恢复大部分工作性能,有效延长激光器的使用寿命。
其他摘要本发明涉及一种边发射半导体激光器腔面的再生方法,包括:(1)采用高选择比腐蚀剂对失效的边发射半导体激光器进行选择性腐蚀,在激光器两端损坏的谐振腔腔面处形成悬臂结构;(2)采用压针对上述悬臂结构外侧靠近激光器腔面处施加外力,使得损坏的腔面自然解理,形成新的腔面。本发明可以使由于COD问题失效的激光器,恢复大部分工作性能,有效延长激光器的使用寿命。
主权项一种边发射半导体激光器腔面的再生方法,包括: (1)采用高选择比腐蚀剂对失效的边发射半导体激光器进行选择性腐蚀,在激光器两端损坏的谐振腔腔面处形成悬臂结构; (2)采用压针对上述悬臂结构外侧靠近激光器腔面处施加外力,使得损坏的腔面自然解理,形成新的腔面。
申请日期2016-03-24
专利号CN105742957A
专利状态授权
申请号CN201610172695.0
公开(公告)号CN105742957A
IPC 分类号H01S5/10
专利代理人黄志达
代理机构上海泰能知识产权代理事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63778
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王亚楠,李耀耀,王庶民,等. 一种边发射半导体激光器腔面的再生方法. CN105742957A[P]. 2016-07-06.
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