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使用液态金属工质的藕状规则多孔金属微通道热沉
其他题名使用液态金属工质的藕状规则多孔金属微通道热沉
刘源; 陈海锋
2013-07-03
专利权人清华大学
公开日期2013-07-03
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要用于高热流密度电子元器件或半导体激光器的使用液态金属工质的藕状规则多孔金属微通道热沉,属于微型电子器件的散热装置,解决了现有微通道热沉进出口压降大、结构复杂、加工困难、成本高等问题,可以获得优异的散热效果。本发明由微通道模块3、微泵6和远端散热装置7通过管路相连接形成闭合通路,微通道模块核心为利用金属-气体共晶定向凝固法所得到的圆柱形气孔规则定向排列于金属基体中的多孔材料,流体工作介质为低熔点液态金属或合金。本发明提供了一种结构简单,制作工艺简便,安装方便,进出口压降小,散热效率高,适用于高热流密度的电子元器件或者激光二极管阵列的散热的装置。
其他摘要用于高热流密度电子元器件或半导体激光器的使用液态金属工质的藕状规则多孔金属微通道热沉,属于微型电子器件的散热装置,解决了现有微通道热沉进出口压降大、结构复杂、加工困难、成本高等问题,可以获得优异的散热效果。本发明由微通道模块3、微泵6和远端散热装置7通过管路相连接形成闭合通路,微通道模块核心为利用金属-气体共晶定向凝固法所得到的圆柱形气孔规则定向排列于金属基体中的多孔材料,流体工作介质为低熔点液态金属或合金。本发明提供了一种结构简单,制作工艺简便,安装方便,进出口压降小,散热效率高,适用于高热流密度的电子元器件或者激光二极管阵列的散热的装置。
主权项一种用于高热流密度电子元器件或半导体激光器的使用液态金属工质的藕状规则多孔金属微通道散热装置,其特征在于,该装置包括: 内部带有藕状规则多孔金属微通道,且通道内装有低熔点液态金属工质的微通道散热模块3,该微通道模块3与芯片1之间以铜盖板2相互接触,铜盖板2与微通道模块3之间设有密封圈和螺钉孔固定。 至少有一个内部装有低熔点液态金属工质的远端散热装置7。 微通道模块3与远端散热装置7以管路相互连接形成闭合通路,连通管道上装有用于驱动低熔点液态金属工质流动的微泵6。
申请日期2011-12-27
专利号CN103188912A
专利状态失效
申请号CN201110448076.7
公开(公告)号CN103188912A
IPC 分类号H05K7/20 | H01L23/36 | H01S5/024
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63721
专题半导体激光器专利数据库
作者单位清华大学
推荐引用方式
GB/T 7714
刘源,陈海锋. 使用液态金属工质的藕状规则多孔金属微通道热沉. CN103188912A[P]. 2013-07-03.
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CN103188912A.PDF(3265KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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