绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法

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	绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法
其他题名	绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法
	孙继凤; 刘立峰; 王忠生; 汤建华; 田兴志
	2010-06-02
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2010-06-02
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法，本发明属于半导体器件的激光精细加工领域，涉及绿色半导体激光器输出的脉冲激光束经过Fθ聚焦透镜时，产生非线性像差的补偿控制技术。控制系统由光刻控制器、激光器、扫描振镜、聚焦透镜、工作台等。各单元的连接关系：激光器输出光送给扫描振镜，光刻控制器控制激光器输出绿色激光和扫描振镜的偏转角，经偏转后的激光再传送给聚焦透镜，激光经过聚焦透镜后聚焦于工作台面上。本发明的优点是，采用非线性像差补偿校正算法，根据非线性畸变量控制双振镜扫描角度，补偿Fθ聚焦透镜造成的非线性像差，解决了激光调阻中因透镜像差造成的光刻定位不准的问题，实现了小尺寸片阻的光刻精确定位控制。
其他摘要	绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法，本发明属于半导体器件的激光精细加工领域，涉及绿色半导体激光器输出的脉冲激光束经过Fθ聚焦透镜时，产生非线性像差的补偿控制技术。控制系统由光刻控制器、激光器、扫描振镜、聚焦透镜、工作台等。各单元的连接关系：激光器输出光送给扫描振镜，光刻控制器控制激光器输出绿色激光和扫描振镜的偏转角，经偏转后的激光再传送给聚焦透镜，激光经过聚焦透镜后聚焦于工作台面上。本发明的优点是，采用非线性像差补偿校正算法，根据非线性畸变量控制双振镜扫描角度，补偿Fθ聚焦透镜造成的非线性像差，解决了激光调阻中因透镜像差造成的光刻定位不准的问题，实现了小尺寸片阻的光刻精确定位控制。
主权项	绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统，其特征在于该控制系统包括光刻控制器(1)、激光器(2)、扫描振镜(3)、聚焦透镜(4)、工作台(5)；各单元的连接关系：激光器(2)输出光送给扫描振镜(3)，光刻控制器(1)控制激光器输出绿色激光和扫描振镜(3)的偏转角，经偏转后的激光再传送给聚焦透镜(4)，激光经过聚焦透镜(4)后聚焦于工作台(5)上。所述光刻控制器(1)是该控制系统的核心处理器件，它既能控制激光器的频率、功率、出光、停光，还能控制扫描振镜转角进行激光定位，此外，还完成非线性像差数据的采集、计算、校正；所述激光器(2)输出绿色激光，是激光光源；所述扫描振镜(3)受控于光刻控制器(1)，对绿色激光进行快速精确定位；所述聚焦透镜(4)将绿色激光聚焦为高能量密度光斑，用于刻蚀被调电阻材料；所述工作台(5)是激光刻蚀片式电阻的工作平面，是片式电阻的载体。
申请日期	2009-11-24
专利号	CN101718958A
专利状态	失效
申请号	CN200910217899.1
公开（公告）号	CN101718958A
IPC 分类号	G03F7/20
专利代理人	王立伟
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63390
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	孙继凤,刘立峰,王忠生,等. 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法. CN101718958A[P]. 2010-06-02.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN101718958A.PDF（309KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文