Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 | |
其他题名 | 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 |
孙继凤; 刘立峰; 王忠生; 汤建华; 田兴志 | |
2010-06-02 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2010-06-02 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法,本发明属于半导体器件的激光精细加工领域,涉及绿色半导体激光器输出的脉冲激光束经过Fθ聚焦透镜时,产生非线性像差的补偿控制技术。控制系统由光刻控制器、激光器、扫描振镜、聚焦透镜、工作台等。各单元的连接关系:激光器输出光送给扫描振镜,光刻控制器控制激光器输出绿色激光和扫描振镜的偏转角,经偏转后的激光再传送给聚焦透镜,激光经过聚焦透镜后聚焦于工作台面上。本发明的优点是,采用非线性像差补偿校正算法,根据非线性畸变量控制双振镜扫描角度,补偿Fθ聚焦透镜造成的非线性像差,解决了激光调阻中因透镜像差造成的光刻定位不准的问题,实现了小尺寸片阻的光刻精确定位控制。 |
其他摘要 | 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法,本发明属于半导体器件的激光精细加工领域,涉及绿色半导体激光器输出的脉冲激光束经过Fθ聚焦透镜时,产生非线性像差的补偿控制技术。控制系统由光刻控制器、激光器、扫描振镜、聚焦透镜、工作台等。各单元的连接关系:激光器输出光送给扫描振镜,光刻控制器控制激光器输出绿色激光和扫描振镜的偏转角,经偏转后的激光再传送给聚焦透镜,激光经过聚焦透镜后聚焦于工作台面上。本发明的优点是,采用非线性像差补偿校正算法,根据非线性畸变量控制双振镜扫描角度,补偿Fθ聚焦透镜造成的非线性像差,解决了激光调阻中因透镜像差造成的光刻定位不准的问题,实现了小尺寸片阻的光刻精确定位控制。 |
主权项 | 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统,其特征在于该控制系统包括光刻控制器(1)、激光器(2)、扫描振镜(3)、聚焦透镜(4)、工作台(5); 各单元的连接关系:激光器(2)输出光送给扫描振镜(3),光刻控制器(1)控制激光器输出绿色激光和扫描振镜(3)的偏转角,经偏转后的激光再传送给聚焦透镜(4),激光经过聚焦透镜(4)后聚焦于工作台(5)上。 所述光刻控制器(1)是该控制系统的核心处理器件,它既能控制激光器的频率、功率、出光、停光,还能控制扫描振镜转角进行激光定位,此外,还完成非线性像差数据的采集、计算、校正; 所述激光器(2)输出绿色激光,是激光光源; 所述扫描振镜(3)受控于光刻控制器(1),对绿色激光进行快速精确定位; 所述聚焦透镜(4)将绿色激光聚焦为高能量密度光斑,用于刻蚀被调电阻材料; 所述工作台(5)是激光刻蚀片式电阻的工作平面,是片式电阻的载体。 |
申请日期 | 2009-11-24 |
专利号 | CN101718958A |
专利状态 | 失效 |
申请号 | CN200910217899.1 |
公开(公告)号 | CN101718958A |
IPC 分类号 | G03F7/20 |
专利代理人 | 王立伟 |
代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63390 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙继凤,刘立峰,王忠生,等. 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法. CN101718958A[P]. 2010-06-02. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN101718958A.PDF(309KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
个性服务 |
推荐该条目 |
保存到收藏夹 |
查看访问统计 |
导出为Endnote文件 |
谷歌学术 |
谷歌学术中相似的文章 |
[孙继凤]的文章 |
[刘立峰]的文章 |
[王忠生]的文章 |
百度学术 |
百度学术中相似的文章 |
[孙继凤]的文章 |
[刘立峰]的文章 |
[王忠生]的文章 |
必应学术 |
必应学术中相似的文章 |
[孙继凤]的文章 |
[刘立峰]的文章 |
[王忠生]的文章 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论