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透明导电薄膜及其制备方法
其他题名透明导电薄膜及其制备方法
李会斌; 王宁; 刘星元
2008-04-09
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2008-04-09
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明涉及一种可广泛应用于液晶显示屏、电致发光显示器、太阳能电池、薄膜晶体管、有机和无机半导体激光器、隔热节能玻璃等技术领域的透明导电薄膜及其制备方法。该薄膜是在主体材料In2O3中掺杂有V元素所构成的铟钒氧化物(In2O3:V),简称为IVO,该IVO材料中V的含量为In质量的0.1%~30%。该薄膜可采用高真空热蒸发、电子束沉积以及溅射等多种镀膜技术制备。该薄膜成膜牢固,具有良好的导电性、可见光透明性和化学稳定性。
其他摘要本发明涉及一种可广泛应用于液晶显示屏、电致发光显示器、太阳能电池、薄膜晶体管、有机和无机半导体激光器、隔热节能玻璃等技术领域的透明导电薄膜及其制备方法。该薄膜是在主体材料In2O3中掺杂有V元素所构成的铟钒氧化物(In2O3:V),简称为IVO,该IVO材料中V的含量为In质量的0.1%~30%。该薄膜可采用高真空热蒸发、电子束沉积以及溅射等多种镀膜技术制备。该薄膜成膜牢固,具有良好的导电性、可见光透明性和化学稳定性。
主权项一种透明导电薄膜,其特征在于,是在主体材料In2O3中掺杂有V元素所构成的铟钒氧化物(In2O3:V),简称为IVO,该IVO材料中V与In的质量比为0.1%~30%。
申请日期2007-11-12
专利号CN101159178A
专利状态失效
申请号CN200710056303.5
公开(公告)号CN101159178A
IPC 分类号H01B5/14 | H01B1/08 | H01B13/00 | C23C14/24 | C23C14/08 | G09F9/30 | H05B33/28
专利代理人赵炳仁
代理机构长春菁华专利商标代理事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63240
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李会斌,王宁,刘星元. 透明导电薄膜及其制备方法. CN101159178A[P]. 2008-04-09.
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