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微镜检测方法及其检测装置
其他题名微镜检测方法及其检测装置
郭建峰
2005-01-26
专利权人明基电通股份有限公司
公开日期2005-01-26
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供一种微镜检测方法,包括下述步骤,先将微镜组件设于承座的微镜承靠面。再利用光源朝向微镜组件射出光束。光束从微镜组件反射至靶面,并在该靶面上投射出一第二光点。测量该第二光点相对于基准点的距离X,并由此计算微镜组件于承座上的倾斜度。
其他摘要本发明提供一种微镜检测方法,包括下述步骤,先将微镜组件设于承座的微镜承靠面。再利用光源朝向微镜组件射出光束。光束从微镜组件反射至靶面,并在该靶面上投射出一第二光点。测量该第二光点相对于基准点的距离X,并由此计算微镜组件于承座上的倾斜度。
主权项一种微镜检测装置,用于检测一微镜组件于一承座上的倾斜度,包括: 一靶面;以及 一光源,该光源朝向该微镜组件射出一光束,该光束从该微镜组件反射至该靶面。
申请日期2003-07-15
专利号CN1570555A
专利状态失效
申请号CN03147629.5
公开(公告)号CN1570555A
IPC 分类号G01B11/27 | H01S5/00
专利代理人陈小雯 | 李晓舒
代理机构北京市柳沈律师事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/62710
专题半导体激光器专利数据库
作者单位明基电通股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
郭建峰. 微镜检测方法及其检测装置. CN1570555A[P]. 2005-01-26.
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CN1570555A.PDF(410KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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