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Laser apparatus comprising a plurality of laser modules, each generating one line, the lines overlapping with an offset in the widthwise direction
其他题名Laser apparatus comprising a plurality of laser modules, each generating one line, the lines overlapping with an offset in the widthwise direction
DUBOST, BRICE; MIMOUN, EMMANUEL; CANOVA, LORENZO; DESBOEUFS, NICOLAS
2017-03-02
专利权人SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE
公开日期2017-03-02
授权国家加拿大
专利类型发明申请
摘要The present invention relates to a laser device for annealing coatings deposited on large-width substrates, said device being formed from a plurality of laser modules that may be juxtaposed without particular limitation, wherein the laser modules generate elementary laser lines that combine with one another in the length direction to form a single laser line, each elementary line having an overlap in the length direction with one or two adjacent elementary laser lines; and at least two adjacent elementary laser lines have an offset with respect to one another in the width direction, said offset being smaller than half the sum of the widths of said at least two adjacent elementary laser lines; the overlap of said at least two adjacent elementary laser lines is such that, in the absence of offset, the power-per-unit-length profile of the single laser line has a local maximum level with the zone of overlap.
其他摘要本发明涉及一种用于对沉积在大宽度基板上的涂层进行退火的激光装置,所述装置由多个激光模块形成,所述多个激光模块可以并置而没有特别限制,其中所述激光模块产生彼此结合的基本激光线。形成单个激光线的长度方向,每个基本线在长度方向上具有一个或两个相邻的基本激光线;至少两个相邻的基本激光线在宽度方向上相对于彼此偏移,所述偏移小于所述至少两个相邻基本激光线的宽度之和的一半;所述至少两个相邻的基本激光线的重叠使得在没有偏移的情况下,单个激光线的每单位长度的功率分布具有与重叠区域的局部最大水平。
主权项Appareil laser comprenant : plusieurs modules laser générant chacun une ligne laser élémentaire de longueur (L) et de largeur (W) focalisée au niveau d'un plan de travail ; et des moyens de convoyage destinés à accueillir un substrat; dans lequel lesdits modules laser sont positionnés de manière à ce que les lignes laser élémentaires générées sont sensiblement parallèles entre elles et se combinent en une ligne laser unique, chaque ligne élémentaire présentant un recouvrement (R) dans la direction de la longueur avec une ligne laser élémentaires adjacentes ; et les moyens de convoyage permettent le défilement du substrat perpendiculairement à la ligne de laser unique ; caractérisé en ce que, pour au moins deux lignes laser élémentaires adjacentes (LA1, LA2), les lignes laser élémentaires présentent un décalage (D) l'une par rapport à l'autre dans la direction de la largeur, ledit décalage étant inférieur à la demi-somme des largeurs desdites deux lignes laser élémentaires adjacentes ; le recouvrement (R) desdites au moins deux lignes laser élémentaires adjacentes (LA1, LA2) étant tel que, en l'absence de décalage, le profil de puissance linéique de la ligne laser unique présente un maximum local au niveau de la zone de recouvrement.
申请日期2016-08-23
专利号CA2995655A1
专利状态申请中
申请号CA2995655
公开(公告)号CA2995655A1
IPC 分类号B23K26/06 | B23K26/352 | B23K26/067 | B23K26/073 | B23K26/08 | G02B27/09 | H01L21/02 | H01S5/40
专利代理人GOUDREAU GAGE DUBUC
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/62182
专题半导体激光器专利数据库
作者单位SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE
推荐引用方式
GB/T 7714
DUBOST, BRICE,MIMOUN, EMMANUEL,CANOVA, LORENZO,et al. Laser apparatus comprising a plurality of laser modules, each generating one line, the lines overlapping with an offset in the widthwise direction. CA2995655A1[P]. 2017-03-02.
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