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近接場光プローブ集積半導体レーザ及びそれを用いた光記録装置
其他题名近接場光プローブ集積半導体レーザ及びそれを用いた光記録装置
中塚 慎一; 松本 拓也
2003-05-16
专利权人株式会社日立製作所
公开日期2003-05-16
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】物体に近接して配置することができ、かつ、量産性が高く応用装置の組立が容易な近接場光プローブ集積半導体レーザを提供すること。 【解決手段】半導体基板の主面上に形成した互いに導電性の異なる半導体層よりなる1対の反射鏡と、同1対の反射鏡に挟まれた上記半導体層よりも禁制帯幅の狭い活性層とを少なくとも有する面発光半導体レーザを形成し、その上面の光出射位置に近接場光を発生するプローブを形成する。面発光レーザを形成する領域以外の該半導体基板の一部に主面からこれに対向する裏面に到達する孔を設け、上記半導体レーザの主面側への通電を該裏面に達する孔を経、かつ面発光レーザの上面に達しない高さに形成した電極を介して裏面側から行なう。
其他摘要要解决的问题:提供可以靠近物体布置的近场光学探针集成半导体激光器,具有高的批量生产率,并且可以容易地组装。解决方案:表面发射半导体激光器具有至少一对反射镜,其分别由形成在半导体基板的主表面上并具有不同导电率的半导体层构成,并且有源层插入在反射镜之间并具有较窄的禁带宽度比半导体层有。产生近场光的探针形成在半导体激光器的上表面上的发光位置处。在除了半导体激光器的形成区域之外的半导体衬底的一部分中,从主表面到后表面穿过衬底形成孔,并且从后表面侧执行到半导体激光器的主表面侧的电源。通过孔和电极形成的高度不高于激光器的上表面。
主权项-
申请日期2001-10-31
专利号JP2003142775A
专利状态失效
申请号JP2001333820
公开(公告)号JP2003142775A
IPC 分类号G01Q80/00 | G01Q60/22 | G11B7/135 | G11B7/125 | H01S5/183 | G01N13/10 | G01N13/14 | G12B21/06
专利代理人小川 勝男 (外2名)
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/60746
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社日立製作所
推荐引用方式
GB/T 7714
中塚 慎一,松本 拓也. 近接場光プローブ集積半導体レーザ及びそれを用いた光記録装置. JP2003142775A[P]. 2003-05-16.
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