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計測装置、プリンター、および電子機器
其他题名計測装置、プリンター、および電子機器
岡本 純一
2018-11-01
专利权人セイコーエプソン株式会社
公开日期2018-11-01
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】精度の高い測定が可能な計測装置を提供することにある。 【解決手段】第1レーザー光を射出する第1半導体レーザーと、第2レーザー光を射出する第2半導体レーザーと、前記第1レーザー光の波長が連続的に単調増加する期間と、前記第1レーザー光の波長が連続的に単調減少する期間と、が繰り返し存在するように、前記第1半導体レーザーを動作させる第1駆動部と、前記第2レーザー光の波長の変動の位相と前記第1レーザー光の波長の変動の位相とが、逆位相となるように、前記第2半導体レーザーを動作させる第2駆動部と、を含み、前記第1半導体レーザーおよび前記第2半導体レーザーは、同一基板に設けられている、計測装置。 【選択図】図1
其他摘要要解决的问题:提供一种能够进行高精度测量的测量设备。用于发射第一激光的第一半导体激光器,用于发射第二激光的第二半导体激光器,其中第一激光的波长连续单调增加的时段,并且激光的波长连续且单调地减小的时段,使得第一半导体激光器重复操作并且第二激光器并且第二驱动器用于操作第二半导体激光器,使得光的波长的波动的相位和第一激光的波长的波动的相位彼此相反,其中激光器和第二半导体激光器设置在同一基板上。
主权项-
申请日期2017-03-29
专利号JP2018169196A
专利状态申请中
申请号JP2017064720
公开(公告)号JP2018169196A
IPC 分类号G01S17/50 | G01B9/02 | G01B11/00 | G01P3/36 | B41J29/38
专利代理人布施 行夫 | 大渕 美千栄
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/59133
专题半导体激光器专利数据库
作者单位セイコーエプソン株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
岡本 純一. 計測装置、プリンター、および電子機器. JP2018169196A[P]. 2018-11-01.
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JP2018169196A.PDF(177KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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