Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 經脈衝的線性射束 | |
| 其他题名 | 經脈衝的線性射束 |
| 哈登 詹姆士Ｍ M.; 卡爾森 史考特Ｒ R.; 馬汀森 羅伯特Ｊ J. | |
| 2014-09-16 | |
| 专利权人 | N萊特股份有限公司 |
| 公开日期 | 2014-09-16 |
| 授权国家 | 中国台湾 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 諸如退火非晶矽以形成多晶矽的製程使用藉由雷射二極體或雷射二極體陣列所提供的經脈衝的雷射射束曝光。將基於來自各自的雷射二極體的複數個射束的光學射束整形並且定向到基板。雷射二極體的負載循環被選擇為小於約0.2,以便s可以大於在連續波操作可用的。剛性或柔性基板上的非晶矽層被處理以產生具有至少50 cm2/Vs的遷移率的多晶矽層。 |
| 其他摘要 | 諸如退火非晶矽以形成多晶矽的製程使用藉由雷射二極體或雷射二極體陣列所提供的經脈衝的雷射射束曝光。將基於來自各自的雷射二極體的複數個射束的光學射束整形並且定向到基板。雷射二極體的負載循環被選擇為小於約0.2,以便s可以大於在連續波操作可用的。剛性或柔性基板上的非晶矽層被處理以產生具有至少50 cm2/Vs的遷移率的多晶矽層。 |
| 主权项 | - |
| 申请日期 | 2014-02-19 |
| 专利号 | TW201435971A |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | TW103105391 |
| 公开（公告）号 | TW201435971A |
| IPC 分类号 | H01L21/02 | H01L21/268 | B23K26/062 | B23K26/352 |
| 专利代理人 | 閻啟泰 | 林景郁 |
| 代理机构 | - |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/58915 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | N萊特股份有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 哈登 詹姆士Ｍ M.,卡爾森 史考特Ｒ R.,馬汀森 羅伯特Ｊ J.. 經脈衝的線性射束. TW201435971A[P]. 2014-09-16. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| TW201435971A.PDF（865KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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