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激光能量稳定装置及其稳定方法
其他题名激光能量稳定装置及其稳定方法
文侨; 卢建新; 李冀
2018-04-20
专利权人深圳大学
公开日期2018-04-20
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明属于激光能量控制领域,特别涉及激光能量稳定装置及其稳定方法。激光能量稳定装置包括用于输出脉冲激光的脉冲激光器,分光单元,衰减单元,功率探测单元和负反馈控制单元。本发明通过脉冲激光器输出脉冲激光,所述脉冲激光经分光单元分为第一束脉冲激光和第二束脉冲激光,其中第一束脉冲激光传播到衰减单元,第二束脉冲激光入射到功率探测单元,功率探测单元探测第二束脉冲激光的功率以得出光功率值,负反馈控制单元根据功率探测单元测量的光功率值计算并控制衰减单元对第一束脉冲激光的衰减率,从而实现脉冲激光能量稳定。
其他摘要本发明属于激光能量控制领域,特别涉及激光能量稳定装置及其稳定方法。激光能量稳定装置包括用于输出脉冲激光的脉冲激光器,分光单元,衰减单元,功率探测单元和负反馈控制单元。本发明通过脉冲激光器输出脉冲激光,所述脉冲激光经分光单元分为第一束脉冲激光和第二束脉冲激光,其中第一束脉冲激光传播到衰减单元,第二束脉冲激光入射到功率探测单元,功率探测单元探测第二束脉冲激光的功率以得出光功率值,负反馈控制单元根据功率探测单元测量的光功率值计算并控制衰减单元对第一束脉冲激光的衰减率,从而实现脉冲激光能量稳定。
主权项激光能量稳定装置,其特征在于,包括: 脉冲激光器,用于输出脉冲激光; 分光单元,用于将所述脉冲激光分为第一束脉冲激光和第二束脉冲激光; 衰减单元,用于接收所述第一束脉冲激光,并对所述第一束脉冲激光的光功率进行衰减; 功率探测单元,用于接收所述第二束脉冲激光,并对所述第二束脉冲激光的功率进行测量以得出光功率值; 负反馈控制单元,根据所述功率探测单元测量的光功率值,利用控制算法控制所述衰减单元对所述第一束脉冲激光的衰减率,以使经过所述衰减单元的所述第一束脉冲激光的输出能量稳定。
申请日期2016-10-12
专利号CN107946895A
专利状态申请中
申请号CN201610891094.5
公开(公告)号CN107946895A
IPC 分类号H01S3/13 | H01S5/0683
专利代理人张全文
代理机构深圳中一专利商标事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57477
专题半导体激光器专利数据库
作者单位深圳大学
推荐引用方式
GB/T 7714
文侨,卢建新,李冀. 激光能量稳定装置及其稳定方法. CN107946895A[P]. 2018-04-20.
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