一种半导体激光芯片的测试设备及方法

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	一种半导体激光芯片的测试设备及方法
其他题名	一种半导体激光芯片的测试设备及方法
	万怡富
	2019-10-15
专利权人	江西德瑞光电技术有限责任公司
公开日期	2019-10-15
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明提供一种半导体激光芯片的测试设备及方法，该设备包括：机架；设于机架上的摆动测试机构，摆动测试机构包括与机架摆动连接的第一支架、与第一支架摆动连接的第二支架、驱动第一支架相对机架摆动的第一驱动器、以及驱动第二支架相对第一支架摆动的第二驱动器；芯片装载平台，设置在第二支架上，其上设有芯片装载位；光束测试机构，设置在机架上并位于摆动测试机构的一侧，用于在摆动测试机构驱动待测芯片摆动时，对待测芯片发出的光束进行光电转换测试，并得出芯片的测试数据。本发明中采用逐角度扫描法来测试光束发散角，且设计了可驱动芯片朝多个方向摆动的机构，实现对芯片多个方向的光束发射角进行测试，提高测试效率及数据的全面性。
其他摘要	本发明提供一种半导体激光芯片的测试设备及方法，该设备包括：机架；设于机架上的摆动测试机构，摆动测试机构包括与机架摆动连接的第一支架、与第一支架摆动连接的第二支架、驱动第一支架相对机架摆动的第一驱动器、以及驱动第二支架相对第一支架摆动的第二驱动器；芯片装载平台，设置在第二支架上，其上设有芯片装载位；光束测试机构，设置在机架上并位于摆动测试机构的一侧，用于在摆动测试机构驱动待测芯片摆动时，对待测芯片发出的光束进行光电转换测试，并得出芯片的测试数据。本发明中采用逐角度扫描法来测试光束发散角，且设计了可驱动芯片朝多个方向摆动的机构，实现对芯片多个方向的光束发射角进行测试，提高测试效率及数据的全面性。
主权项	一种半导体激光芯片的测试设备，其特征在于，包括：机架；设于所述机架上的摆动测试机构，所述摆动测试机构包括与所述机架摆动连接的第一支架、与所述第一支架摆动连接的第二支架、驱动所述第一支架相对所述机架摆动的第一驱动器、以及驱动所述第二支架相对所述第一支架摆动的第二驱动器，所述第一支架的摆动轴为X轴，所述第二支架的摆动轴为Z轴，X轴和Z轴在空间上交叉设置；芯片装载平台，设置在所述第二支架上，其上设有至少一芯片装载位；光束测试机构，设置在所述机架上并位于所述摆动测试机构的一侧，用于在所述摆动测试机构驱动待测半导体激光芯片摆动时，对所述待测半导体激光芯片发出的光束进行光电转换测试，并得出所述待测半导体激光芯片的光束发散角，所述待测半导体激光芯片装载于所述芯片装载位上；其中，所述光束测试机构包括：探头支架，设置在所述机架，且位于所述芯片装载平台的一侧；第一光电传感器，设置在所述探头支架上；第五驱动器，设置在所述机架上并用于驱动所述探头支架在所述机架上伸缩移动；所述光束测试机构还用于测试半导体激光芯片的LIV参数以及光谱参数，所述光束测试机构还包括：积分球，设置在所述探头支架远离所述芯片装载平台的一侧；设置在所述积分球上的第二光电传感器；通过光纤与所述积分球连接的光谱仪；以及移动线性模组，设置在所述机架上，所述积分球设置在所述移动线性模组上，以在所述移动线性模组的驱动下靠近或远离所述芯片装载平台移动。
申请日期	2019-09-03
专利号	CN110333051A
专利状态	申请中
申请号	CN201910825510.5
公开（公告）号	CN110333051A
IPC 分类号	G01M11/02
专利代理人	彭琰
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57270
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	江西德瑞光电技术有限责任公司
推荐引用方式 GB/T 7714	万怡富. 一种半导体激光芯片的测试设备及方法. CN110333051A[P]. 2019-10-15.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN110333051A.PDF（799KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文