Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
一种半导体激光芯片的测试设备及方法 | |
其他题名 | 一种半导体激光芯片的测试设备及方法 |
万怡富 | |
2019-10-15 | |
专利权人 | 江西德瑞光电技术有限责任公司 |
公开日期 | 2019-10-15 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 本发明提供一种半导体激光芯片的测试设备及方法,该设备包括:机架;设于机架上的摆动测试机构,摆动测试机构包括与机架摆动连接的第一支架、与第一支架摆动连接的第二支架、驱动第一支架相对机架摆动的第一驱动器、以及驱动第二支架相对第一支架摆动的第二驱动器;芯片装载平台,设置在第二支架上,其上设有芯片装载位;光束测试机构,设置在机架上并位于摆动测试机构的一侧,用于在摆动测试机构驱动待测芯片摆动时,对待测芯片发出的光束进行光电转换测试,并得出芯片的测试数据。本发明中采用逐角度扫描法来测试光束发散角,且设计了可驱动芯片朝多个方向摆动的机构,实现对芯片多个方向的光束发射角进行测试,提高测试效率及数据的全面性。 |
其他摘要 | 本发明提供一种半导体激光芯片的测试设备及方法,该设备包括:机架;设于机架上的摆动测试机构,摆动测试机构包括与机架摆动连接的第一支架、与第一支架摆动连接的第二支架、驱动第一支架相对机架摆动的第一驱动器、以及驱动第二支架相对第一支架摆动的第二驱动器;芯片装载平台,设置在第二支架上,其上设有芯片装载位;光束测试机构,设置在机架上并位于摆动测试机构的一侧,用于在摆动测试机构驱动待测芯片摆动时,对待测芯片发出的光束进行光电转换测试,并得出芯片的测试数据。本发明中采用逐角度扫描法来测试光束发散角,且设计了可驱动芯片朝多个方向摆动的机构,实现对芯片多个方向的光束发射角进行测试,提高测试效率及数据的全面性。 |
主权项 | 一种半导体激光芯片的测试设备,其特征在于,包括: 机架; 设于所述机架上的摆动测试机构,所述摆动测试机构包括与所述机架摆动连接的第一支架、与所述第一支架摆动连接的第二支架、驱动所述第一支架相对所述机架摆动的第一驱动器、以及驱动所述第二支架相对所述第一支架摆动的第二驱动器,所述第一支架的摆动轴为X轴,所述第二支架的摆动轴为Z轴,X轴和Z轴在空间上交叉设置; 芯片装载平台,设置在所述第二支架上,其上设有至少一芯片装载位; 光束测试机构,设置在所述机架上并位于所述摆动测试机构的一侧,用于在所述摆动测试机构驱动待测半导体激光芯片摆动时,对所述待测半导体激光芯片发出的光束进行光电转换测试,并得出所述待测半导体激光芯片的光束发散角,所述待测半导体激光芯片装载于所述芯片装载位上; 其中,所述光束测试机构包括: 探头支架,设置在所述机架,且位于所述芯片装载平台的一侧; 第一光电传感器,设置在所述探头支架上; 第五驱动器,设置在所述机架上并用于驱动所述探头支架在所述机架上伸缩移动; 所述光束测试机构还用于测试半导体激光芯片的LIV参数以及光谱参数,所述光束测试机构还包括: 积分球,设置在所述探头支架远离所述芯片装载平台的一侧; 设置在所述积分球上的第二光电传感器; 通过光纤与所述积分球连接的光谱仪;以及 移动线性模组,设置在所述机架上,所述积分球设置在所述移动线性模组上,以在所述移动线性模组的驱动下靠近或远离所述芯片装载平台移动。 |
申请日期 | 2019-09-03 |
专利号 | CN110333051A |
专利状态 | 申请中 |
申请号 | CN201910825510.5 |
公开(公告)号 | CN110333051A |
IPC 分类号 | G01M11/02 |
专利代理人 | 彭琰 |
代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57270 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 江西德瑞光电技术有限责任公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 万怡富. 一种半导体激光芯片的测试设备及方法. CN110333051A[P]. 2019-10-15. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN110333051A.PDF(799KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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