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多波长分布反馈半导体激光器阵列及制备方法
其他题名多波长分布反馈半导体激光器阵列及制备方法
王健; 王雅琼; 孙长征; 熊兵; 罗毅; 郝智彪; 韩彦军; 汪莱; 李洪涛
2018-11-13
专利权人清华大学
公开日期2018-11-13
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种多波长分布反馈半导体激光器阵列及制备方法,其中,多波长分布反馈半导体激光器阵列包括:光栅、波导和输出光腔面,其中,光栅为侧向耦合表面光栅,波导为脊波导,腔面为刻蚀形成的腔面。该多波长分布反馈半导体激光器阵列可以有效地抑制FP纵模的干扰,具有制备方式简单、成本低、适用性广以及波长精确控制的优点。
其他摘要本发明公开了一种多波长分布反馈半导体激光器阵列及制备方法,其中,多波长分布反馈半导体激光器阵列包括:光栅、波导和输出光腔面,其中,光栅为侧向耦合表面光栅,波导为脊波导,腔面为刻蚀形成的腔面。该多波长分布反馈半导体激光器阵列可以有效地抑制FP纵模的干扰,具有制备方式简单、成本低、适用性广以及波长精确控制的优点。
主权项一种多波长分布反馈半导体激光器阵列,其特征在于:包括光栅、波导和输出光腔面,其中,所述光栅为侧向耦合表面光栅,所述波导为脊波导,所述腔面为刻蚀形成的腔面。
申请日期2018-06-29
专利号CN108808442A
专利状态申请中
申请号CN201810714759.4
公开(公告)号CN108808442A
IPC 分类号H01S5/12 | H01S5/10 | H01S5/40
专利代理人赵天月
代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57110
专题半导体激光器专利数据库
作者单位清华大学
推荐引用方式
GB/T 7714
王健,王雅琼,孙长征,等. 多波长分布反馈半导体激光器阵列及制备方法. CN108808442A[P]. 2018-11-13.
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