集成化的小型NV色心固态磁强计及制作工艺

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	集成化的小型NV色心固态磁强计及制作工艺
其他题名	集成化的小型NV色心固态磁强计及制作工艺
	黄堃; 曹丽琴; 傅月平; 郑斗斗
	2018-11-02
专利权人	中北大学
公开日期	2018-11-02
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成化的小型NV色心固态磁强计及其制作工艺，本发明对含有NV色心的块状金刚石进行聚合物封装，形成共振微腔体，同时，将ODMR测试的相关功能器件，包括激光二极管、微波天线和干涉截止滤波片，通过微组装工艺进行集成，该集成化系统将金刚石和微波天线都集成到共振腔体内，激光二极管置于金刚石顶端用于直接产生532nm波长的激光，激发金刚石内部的NV色心产生荧光，该系统能够更好的囚禁532激光，使其在腔体内部多次进行全反射，且将微波天线与金刚石同时包裹在腔体内，高效的收集激发荧光信号。运用这套集成化腔增强磁测量系统能进行高灵敏度磁测量。
其他摘要	本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成化的小型NV色心固态磁强计及其制作工艺，本发明对含有NV色心的块状金刚石进行聚合物封装，形成共振微腔体，同时，将ODMR测试的相关功能器件，包括激光二极管、微波天线和干涉截止滤波片，通过微组装工艺进行集成，该集成化系统将金刚石和微波天线都集成到共振腔体内，激光二极管置于金刚石顶端用于直接产生532nm波长的激光，激发金刚石内部的NV色心产生荧光，该系统能够更好的囚禁532激光，使其在腔体内部多次进行全反射，且将微波天线与金刚石同时包裹在腔体内，高效的收集激发荧光信号。运用这套集成化腔增强磁测量系统能进行高灵敏度磁测量。
主权项	集成化的小型NV色心固态磁强计，其特征在于，包括：PDMS腔体(3)，PDMS腔体(3)的上表面包覆有反射膜(2)，PDMS腔体(3)的下表面微组装有玻璃基片(6)，玻璃基片(6)的下表面设置有干涉截止滤波膜系(7)，PDMS腔体(3)、反射膜(2)以及干涉截止滤波膜系(7)共同构成陷光腔体；所述PDMS腔体(3)内包裹有微波天线(4)和带NV色心的金刚石(5)，微波天线(4)为环形，带NV色心的金刚石(5)位于微波天线(4)的中心，带NV色心的金刚石(5)顶部的PDMS腔体(3)上设置有激光器(1)，用于发出激发光源，所述干涉截止滤波膜系(7)的底部设置有光电二极管(8)，用于收集激发后的荧光信号。
申请日期	2018-06-29
专利号	CN108732518A
专利状态	申请中
申请号	CN201810701007
公开（公告）号	CN108732518A
IPC 分类号	G01R33/032
专利代理人	赵红霞
代理机构	北京国坤专利代理事务所(普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57088
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中北大学
推荐引用方式 GB/T 7714	黄堃,曹丽琴,傅月平,等. 集成化的小型NV色心固态磁强计及制作工艺. CN108732518A[P]. 2018-11-02.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN108732518A.PDF（714KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文