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一种具有端面光栅选择机构的端面发射半导体激光器
其他题名一种具有端面光栅选择机构的端面发射半导体激光器
崔碧峰; 程瑾; 王阳; 房天啸; 郝帅
2018-09-07
专利权人北京工业大学
公开日期2018-09-07
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开一种具有端面光栅选择机构的端面发射半导体激光器,属于半导体激光器应用领域。这种结构的激光器包括衬底、下限制层、具有量子阱结构的有源层、上限制层、盖层、正面电极、背面电极、增透膜、膜厚可为1/2、1/3、1/4的激射波长或是1/2、1/3、1/4的激射波长的整数倍的介质膜、金属膜或柔性膜及其上的光栅。该发明提高了半导体激光器的光输出偏振比,利于将激光耦合到光纤中,提高激光合束后的输出功率,拓展了大功率半导体激光器的应用范围。
其他摘要本发明公开一种具有端面光栅选择机构的端面发射半导体激光器,属于半导体激光器应用领域。这种结构的激光器包括衬底、下限制层、具有量子阱结构的有源层、上限制层、盖层、正面电极、背面电极、增透膜、膜厚可为1/2、1/3、1/4的激射波长或是1/2、1/3、1/4的激射波长的整数倍的介质膜、金属膜或柔性膜及其上的光栅。该发明提高了半导体激光器的光输出偏振比,利于将激光耦合到光纤中,提高激光合束后的输出功率,拓展了大功率半导体激光器的应用范围。
主权项一种具有端面光栅选择机构的端面发射半导体激光器,其特征在于,在衬底1上,采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)依次生长下限制层2、具有量子阱结构的有源层3、上限制层4、盖层5、正面电极6、背面电极7;采用离子辅助电子束蒸发(IAEBE)方法在所述外延结构的出光端面制备增透膜8,再在上面制备一层介质膜、金属膜或柔性膜9,再在上面刻出光栅10。
申请日期2018-04-17
专利号CN108512032A
专利状态申请中
申请号CN201810340718.3
公开(公告)号CN108512032A
IPC 分类号H01S5/06
专利代理人张慧
代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56971
专题半导体激光器专利数据库
作者单位北京工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
崔碧峰,程瑾,王阳,等. 一种具有端面光栅选择机构的端面发射半导体激光器. CN108512032A[P]. 2018-09-07.
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