角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源

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	角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源
其他题名	角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源
	张星; 黄佑文; 宁永强; 王立军
	2018-01-12
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2018-01-12
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源，属于半导体光电子技术领域，解决了VCSEL光束偏转角度小、实现角度单一、不能进行扫描的问题。本发明从下到上依次包括多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层，所述多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层形成第一台面，在所述第一台面上设有中间带有空气层且直径小于第一台面的第二台面，在所述第二台面上设有非周期性高对比度光栅层，在所述第一台面上、所述第二台面的外侧设有P面电极。本发明不但可以实现大角度的宽视场探测和扫描，而且降低了激光雷达光源系统的复杂性，满足了激光雷达光源的要求。
其他摘要	本发明公开了一种角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源，属于半导体光电子技术领域，解决了VCSEL光束偏转角度小、实现角度单一、不能进行扫描的问题。本发明从下到上依次包括多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层，所述多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层形成第一台面，在所述第一台面上设有中间带有空气层且直径小于第一台面的第二台面，在所述第二台面上设有非周期性高对比度光栅层，在所述第一台面上、所述第二台面的外侧设有P面电极。本发明不但可以实现大角度的宽视场探测和扫描，而且降低了激光雷达光源系统的复杂性，满足了激光雷达光源的要求。
主权项	角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源，从下到上依次包括：N面电极、衬底、N面分布式布拉格反射镜层、多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层，所述多量子阱有源增益层、氧化电流限制孔层和P面分布式布拉格反射镜层形成第一台面，其特征在于，所述第一台面为多个，且在N面分布式布拉格反射镜层上呈列阵分布；在所述第一台面上设有多个内部带有空气层且直径小于第一台面的第二台面，所述第二台面在第一台面上呈列阵分布；在所述第二台面上设有非周期性高对比度光栅层，所述非周期性高对比度光栅层是由可以实现不同偏转角度的、不同光栅周期和占空比的非周期性高度比度光栅条组合而成的非周期性高度比度光栅列阵；在所述第一台面上、所述第二台面的外侧设有P面电极。
申请日期	2017-09-26
专利号	CN107579430A
专利状态	申请中
申请号	CN201710879902.0
公开（公告）号	CN107579430A
IPC 分类号	H01S5/183 \| G01S7/481
专利代理人	陶尊新
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56595
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张星,黄佑文,宁永强,等. 角度快速扫描集成非周期性高对比光栅垂直腔面发射激光雷达光源. CN107579430A[P]. 2018-01-12.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN107579430A.PDF（120KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文