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器件封装及其制造和测试方法
其他题名器件封装及其制造和测试方法
戴维・W・谢里尔; 拉里・J・拉斯内克; 约翰・J・费希尔
2007-11-28
专利权人诺福特罗尼公司
公开日期2007-11-28
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明涉及一种密封器件封装,包括:基底;盖子,包含在基底上的半导体材料;在基底和盖子之间的密封容积;以及在密封容积中的设备;其中密封容积处于使得盖子的壁具有可测量的偏折的一个压强下,并且其中偏折的程度依据所密封的容积压强。
其他摘要本发明涉及一种密封器件封装,包括:基底;盖子,包含在基底上的半导体材料;在基底和盖子之间的密封容积;以及在密封容积中的设备;其中密封容积处于使得盖子的壁具有可测量的偏折的一个压强下,并且其中偏折的程度依据所密封的容积压强。
主权项一种检测密封器件封装中的泄漏的方法,包括: (a)提供包含设备的密封封装,其中在封装的壁中提供可测量偏折的条件下密封该封装,并且其中偏折的程度依据封装内的压强;以及 (b)在密封封装后测量壁的偏折。
申请日期2004-09-15
专利号CN101079387A
专利状态授权
申请号CN200710126459.6
公开(公告)号CN101079387A
IPC 分类号H01L21/66 | H01L21/00 | H01L23/02 | H01L23/34 | G02B6/42 | H01S5/00 | H01S5/022 | G01M11/00 | G01R31/26 | G02B6/36 | H01L21/28 | H01L23/48 | H01L29/22 | H01S5/024
专利代理人沙永生
代理机构上海专利商标事务所有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56379
专题半导体激光器专利数据库
作者单位诺福特罗尼公司
推荐引用方式
GB/T 7714
戴维・W・谢里尔,拉里・J・拉斯内克,约翰・J・费希尔. 器件封装及其制造和测试方法. CN101079387A[P]. 2007-11-28.
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