OPT OpenIR  > 半导体激光器专利数据库
嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法
其他题名嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法
车清论; 张树康; 张建军; 梁森; 郭峰; 王进; 吕滨江; 徐洋; 崔宁; 郑少梅
2018-03-27
专利权人青岛理工大学
公开日期2018-03-27
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种新型嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法,借助金刚石导热无方向性,以多尺度阵列通道提供厚度为支撑,在结构设计上实现生长毫米级厚度超高导热金刚石薄膜;最终制备出具有高导热率、低膨胀系数、好的绝缘性和高电阻率的超高导热金刚石复合连通导热骨架结构的散热基板材料。
其他摘要本发明公开了一种新型嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法,借助金刚石导热无方向性,以多尺度阵列通道提供厚度为支撑,在结构设计上实现生长毫米级厚度超高导热金刚石薄膜;最终制备出具有高导热率、低膨胀系数、好的绝缘性和高电阻率的超高导热金刚石复合连通导热骨架结构的散热基板材料。
主权项一种嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料,其特征在于,包括作为导热骨架的硅基体,在所述的硅基体上加工多个通孔以形成阵列通道,在所述的硅基体的外表面和所述的阵列通道内表面覆盖有金刚石膜。
申请日期2017-11-09
专利号CN107845616A
专利状态申请中
申请号CN201711098589.3
公开(公告)号CN107845616A
IPC 分类号H01L23/367 | H01L23/373 | H01L21/48
专利代理人赵敏玲
代理机构济南圣达知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56136
专题半导体激光器专利数据库
作者单位青岛理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
车清论,张树康,张建军,等. 嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法. CN107845616A[P]. 2018-03-27.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN107845616A.PDF(186KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[车清论]的文章
[张树康]的文章
[张建军]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[车清论]的文章
[张树康]的文章
[张建军]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[车清论]的文章
[张树康]的文章
[张建军]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。