Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法 | |
其他题名 | 嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法 |
车清论; 张树康; 张建军; 梁森; 郭峰; 王进; 吕滨江; 徐洋; 崔宁; 郑少梅 | |
2018-03-27 | |
专利权人 | 青岛理工大学 |
公开日期 | 2018-03-27 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 本发明公开了一种新型嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法,借助金刚石导热无方向性,以多尺度阵列通道提供厚度为支撑,在结构设计上实现生长毫米级厚度超高导热金刚石薄膜;最终制备出具有高导热率、低膨胀系数、好的绝缘性和高电阻率的超高导热金刚石复合连通导热骨架结构的散热基板材料。 |
其他摘要 | 本发明公开了一种新型嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法,借助金刚石导热无方向性,以多尺度阵列通道提供厚度为支撑,在结构设计上实现生长毫米级厚度超高导热金刚石薄膜;最终制备出具有高导热率、低膨胀系数、好的绝缘性和高电阻率的超高导热金刚石复合连通导热骨架结构的散热基板材料。 |
主权项 | 一种嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料,其特征在于,包括作为导热骨架的硅基体,在所述的硅基体上加工多个通孔以形成阵列通道,在所述的硅基体的外表面和所述的阵列通道内表面覆盖有金刚石膜。 |
申请日期 | 2017-11-09 |
专利号 | CN107845616A |
专利状态 | 申请中 |
申请号 | CN201711098589.3 |
公开(公告)号 | CN107845616A |
IPC 分类号 | H01L23/367 | H01L23/373 | H01L21/48 |
专利代理人 | 赵敏玲 |
代理机构 | 济南圣达知识产权代理有限公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56136 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 青岛理工大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 车清论,张树康,张建军,等. 嵌套式超高导热金刚石膜/硅基复合材料及其制备方法. CN107845616A[P]. 2018-03-27. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN107845616A.PDF(186KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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