一种大量程聚焦式激光点位移测量系统

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	一种大量程聚焦式激光点位移测量系统
其他题名	一种大量程聚焦式激光点位移测量系统
	张效栋; 武光创; 朱琳琳; 房丰洲
	2019-08-09
专利权人	天津大学
公开日期	2019-08-09
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明涉及一种大量程聚焦式激光点位移测量系统，包括半导体激光二极管、衍射光栅、分光棱镜、1/4波片、准直透镜、物镜、柱面镜、四象限探测器、信号调理电路，采集电路和工控机，四象限探测器检测到的聚焦误差信号依次经过信号调理电路和采集电路后输入到工控机，工控机根据聚焦误差信号测量被测工件表面形貌。其特征在于，所述的物镜为显微物镜，所述的信号调理电路包括低通滤波器，用以滤去1/2倍采样频率以上的信号。
其他摘要	本发明涉及一种大量程聚焦式激光点位移测量系统，包括半导体激光二极管、衍射光栅、分光棱镜、1/4波片、准直透镜、物镜、柱面镜、四象限探测器、信号调理电路，采集电路和工控机，四象限探测器检测到的聚焦误差信号依次经过信号调理电路和采集电路后输入到工控机，工控机根据聚焦误差信号测量被测工件表面形貌。其特征在于，所述的物镜为显微物镜，所述的信号调理电路包括低通滤波器，用以滤去1/2倍采样频率以上的信号。
主权项	一种大量程聚焦式激光点位移测量系统，包括半导体激光二极管、衍射光栅、分光棱镜、1/4波片、准直透镜、物镜、柱面镜、四象限探测器、信号调理电路，采集电路和工控机，四象限探测器检测到的聚焦误差信号依次经过信号调理电路和采集电路后输入到工控机，工控机根据聚焦误差信号测量被测工件表面形貌。其特征在于，所述的物镜为显微物镜，所述的信号调理电路包括低通滤波器，用以滤去1/2倍采样频率以上的信号。
申请日期	2019-04-03
专利号	CN110108227A
专利状态	申请中
申请号	CN201910266644
公开（公告）号	CN110108227A
IPC 分类号	G01B11/24
专利代理人	程毓英
代理机构	天津市北洋有限责任专利代理事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55432
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	天津大学
推荐引用方式 GB/T 7714	张效栋,武光创,朱琳琳,等. 一种大量程聚焦式激光点位移测量系统. CN110108227A[P]. 2019-08-09.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN110108227A.PDF（458KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文