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一种基于电流波数扫描的透镜三维轮廓测量装置及方法
其他题名一种基于电流波数扫描的透镜三维轮廓测量装置及方法
周延周; 古宇达; 李谦谦; 全绍琛; 蔡瑞涵
2019-07-09
专利权人广东工业大学
公开日期2019-07-09
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种基于电流波数扫描的透镜三维轮廓测量装置及方法,测量装置包括发射相关光的半导体激光器、将相关光分为两部分的分光棱镜、光楔、捕捉反射光干涉光谱的CCD相机、处理图像信息的计算机、调节半导体激光器工作温度及电流的激光控制器、以及提高测量精度的双远心镜头。测量时,工作电流变化10mA左右即可得到透镜的高精度轮廓,且和透镜表面没有任何机械接触,避免了透镜表面的损伤。在数据处理过程中使用干涉信号相关谱分解及复数线性最小二乘法算法,对干涉信号可以精确地盲分离出各个表面的干涉相位,避免了傅里叶变换窗函数卷积的模糊效应,提高了测量的精度。本发明还具有结构简单、操作方便、容易实施的优点。
其他摘要本发明公开了一种基于电流波数扫描的透镜三维轮廓测量装置及方法,测量装置包括发射相关光的半导体激光器、将相关光分为两部分的分光棱镜、光楔、捕捉反射光干涉光谱的CCD相机、处理图像信息的计算机、调节半导体激光器工作温度及电流的激光控制器、以及提高测量精度的双远心镜头。测量时,工作电流变化10mA左右即可得到透镜的高精度轮廓,且和透镜表面没有任何机械接触,避免了透镜表面的损伤。在数据处理过程中使用干涉信号相关谱分解及复数线性最小二乘法算法,对干涉信号可以精确地盲分离出各个表面的干涉相位,避免了傅里叶变换窗函数卷积的模糊效应,提高了测量的精度。本发明还具有结构简单、操作方便、容易实施的优点。
主权项一种基于电流波数扫描的透镜三维轮廓测量装置,其特征在于,包括发射相关光的半导体激光器、将相关光分为两部分的分光棱镜、光楔、捕捉反射光干涉光谱的CCD相机、处理图像信息的计算机、调节半导体激光器工作温度及电流的激光控制器、以及提高测量精度的双远心镜头; 所述半导体激光器、双远心镜头、光楔、被测透镜沿逆时针依次设置,所述分光棱镜位于中心位置;相关光从半导体激光器射出,经分光棱镜后到达光楔,形成第一入射光路;相关光在光楔产生反射,经分光棱镜后到达双远心镜头,形成第一反射光路;相关光从半导体激光器射出,经分光棱镜后到达被测透镜,形成第二入射光路;相关光在被测透镜产生反射,经分光棱镜后到达双远心镜头,形成第二反射光路;所述第一光路与第二光路在双远心镜头内产生干涉,形成干涉光谱; 所述CCD相机设置在双远心镜头后方,获取干涉光谱图像数据;所述激光控制器与半导体激光器电连接;所述计算机分别与CCD相机和激光控制器电连接。
申请日期2019-01-15
专利号CN109990729A
专利状态申请中
申请号CN20191003620X
公开(公告)号CN109990729A
IPC 分类号G01B11/24
专利代理人江金城 | 杨晓松
代理机构广东广信君达律师事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55367
专题半导体激光器专利数据库
作者单位广东工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
周延周,古宇达,李谦谦,等. 一种基于电流波数扫描的透镜三维轮廓测量装置及方法. CN109990729A[P]. 2019-07-09.
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