一种激光二极管芯片光电属性检测方法和检测装置

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	一种激光二极管芯片光电属性检测方法和检测装置
其他题名	一种激光二极管芯片光电属性检测方法和检测装置
	朱干军; 张家尧
	2019-01-29
专利权人	义乌臻格科技有限公司
公开日期	2019-01-29
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种激光二极管芯片光电属性检测方法和检测装置，所述激光二极管芯片具有脊顶面电极和电极垫，本检测方法使用具有弹性的条带探针代替针型探针并且探针接触的位置由电极垫改为脊顶面电极，其中，所述条带探针自身弯曲成弧形，以与激光二极管脊顶面电极的延伸方向正交的方式，水平下降至与脊顶面电极的金电极图层接触的位置，由条带探针的弯曲形变提供接触压力。本发明以条带型的探针去替代传统的探针，去提供激光二极管光电属性检测过程所需要的电流(电压)，由于下针方式和接触面积的改变，对检测设备的位置精准度降低了要求，保护了激光二极管上的电极垫，延长了探针的使用寿命。从设备、耗材、以及制程工艺上降低了成本。
其他摘要	本发明公开了一种激光二极管芯片光电属性检测方法和检测装置，所述激光二极管芯片具有脊顶面电极和电极垫，本检测方法使用具有弹性的条带探针代替针型探针并且探针接触的位置由电极垫改为脊顶面电极，其中，所述条带探针自身弯曲成弧形，以与激光二极管脊顶面电极的延伸方向正交的方式，水平下降至与脊顶面电极的金电极图层接触的位置，由条带探针的弯曲形变提供接触压力。本发明以条带型的探针去替代传统的探针，去提供激光二极管光电属性检测过程所需要的电流(电压)，由于下针方式和接触面积的改变，对检测设备的位置精准度降低了要求，保护了激光二极管上的电极垫，延长了探针的使用寿命。从设备、耗材、以及制程工艺上降低了成本。
主权项	一种激光二极管芯片光电属性检测方法，所述激光二极管芯片具有脊顶面电极和与脊顶面电极相连的电极垫，其特征在于，使用具有弹性的条带探针代替针型探针、并且探针接触位置由电极垫改为脊顶面电极，其中，所述条带探针自身弯曲成弧形，以与激光二极管脊顶面电极的延伸方向正交的方式，水平下降至与脊顶面电极的金电极图层接触的位置，由条带探针的弯曲形变提供接触压力。
申请日期	2018-10-19
专利号	CN109283452A
专利状态	申请中
申请号	CN201811222428.5
公开（公告）号	CN109283452A
IPC 分类号	G01R31/28
专利代理人	叶洋军 \| 郭华俊
代理机构	合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/54972
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	义乌臻格科技有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	朱干军,张家尧. 一种激光二极管芯片光电属性检测方法和检测装置. CN109283452A[P]. 2019-01-29.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN109283452A.PDF（417KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文