PROCEDE DE REALISATION DE COMPOSANT COMPRENANT DES MATERIAUX III-V ET DES CONTACTS COMPATIBLES DE FILIERE SILICIUM

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	PROCEDE DE REALISATION DE COMPOSANT COMPRENANT DES MATERIAUX III-V ET DES CONTACTS COMPATIBLES DE FILIERE SILICIUM
其他题名	PROCEDE DE REALISATION DE COMPOSANT COMPRENANT DES MATERIAUX III-V ET DES CONTACTS COMPATIBLES DE FILIERE SILICIUM
	GHEGIN ELODIE; JANY CHRISTOPHE; NEMOUCHI FABRICE; RODRIGUEZ PHILIPPE; SZELAG BERTRAND
	2018-06-29
专利权人	COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
公开日期	2018-06-29
授权国家	法国
专利类型	发明申请
摘要	L'invention concerne un procédé de réalisation d'un composant comprenant une structure en matériau(x) III-V à la surface d'un substrat, ladite structure comprenant au moins un niveau supérieur de contact (Nsup) défini à la surface d'un premier matériau III-V (1) et un niveau inférieur de contact (Ninf) défini à la surface d'un second matériau III-V (2), comportant : - des opérations successives d'encapsulation par au moins un diélectrique (8) de ladite structure ; - la réalisation d'ouvertures primaires (Osp ;Oip) dans un diélectrique pour les deux contacts ; - la réalisation d'ouvertures secondaires (Oss ;Ois) dans un diélectrique pour les deux contacts ; - le remplissage au moins partiel par au moins une matière métallique desdites ouvertures de manière à réaliser une métallisation de fond de contact supérieur et au moins un plot de contact supérieur en contact avec ladite métallisation pour chacun desdits contacts. L'invention a aussi pour objet un composant réalisé par ledit procédé. Le composant peut être une diode laser.
其他摘要	本发明涉及生产包含材料结构（S）III-V衬底的表面上的部件的方法，所述结构包括至少一个上接触面（NSUP）的表面上限定在第二III-V族材料（2）的表面限定的第一III-V族材料（1）和下接触面（NINF），包括： - 由至少一个介电层（8包封的连续操作）所述结构;在两个触点的电介质中产生初级开口（Osp，Oip）;- 在两个触点的电介质中制作二次开口（Oss，Ois）;- 通过以下中的至少一种金属材料填充至少部分所述开口，从而与所述金属化对于每个所述联系人，以形成顶部接触底部金属和在接触的至少一个上接触垫。本发明还涉及通过所述方法生产的组件。该部件可以是激光二极管。
主权项	-
申请日期	2016-12-22
专利号	FR3061354A1
专利状态	申请中
申请号	FR2016063133
公开（公告）号	FR3061354A1
IPC 分类号	H01L21/18 \| H01L23/28 \| H01L23/48 \| H01S5/323
专利代理人	-
代理机构	MARKS & CLERK FRANCE
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/54752
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
推荐引用方式 GB/T 7714	GHEGIN ELODIE,JANY CHRISTOPHE,NEMOUCHI FABRICE,et al. PROCEDE DE REALISATION DE COMPOSANT COMPRENANT DES MATERIAUX III-V ET DES CONTACTS COMPATIBLES DE FILIERE SILICIUM. FR3061354A1[P]. 2018-06-29.