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半導体レーザの作製方法
其他题名半導体レーザの作製方法
アルフレッド イー チョー; サン-ニー ジョージ チュ; クオチョウ タイ; エオン-ハー ワン
1994-03-29
专利权人アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー
公开日期1994-03-29
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【目的】 本発明は、レーザ空胴を少なくとも1つの分布ブラッグ反射器(DBR)に結合することを含む垂直空胴面発光レーザの作製方法に関する。 【構成】 方法はガリウム砒素基板(10)上に組成が交互になった少なくとも10層を有する分布ブラッグ反射器(30、70)を成長させることを含む。基板の成長面は(100)面方向から(111)A面方向へ1°-7°の角だけ傾いている。これにより、結果としてDBRの反射率が改善される。
其他摘要本发明涉及一种制造垂直腔表面发射激光器的方法,包括将激光腔耦合到至少一个分布式布拉格反射器(DBR)。 该方法包括在砷化镓衬底(10)上生长具有至少10层交替组分的分布式布拉格反射器(30,70)。基板的生长表面从(100)平面方向到(111)A平面方向倾斜1°-7°的角度。结果,改善了DBR的反射率。
主权项-
申请日期1991-12-13
专利号JP1994090057A
专利状态失效
申请号JP1991329195
公开(公告)号JP1994090057A
IPC 分类号H01S | H01S5/323 | H01S5/183 | H01S5/042 | H01S5/32 | H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人岡部 正夫 (外2名)
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/50743
专题半导体激光器专利数据库
作者单位アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー
推荐引用方式
GB/T 7714
アルフレッド イー チョー,サン-ニー ジョージ チュ,クオチョウ タイ,等. 半導体レーザの作製方法. JP1994090057A[P]. 1994-03-29.
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