马赫－曾德尔型相移矢量剪切干涉仪

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	马赫－曾德尔型相移矢量剪切干涉仪
其他题名	马赫－曾德尔型相移矢量剪切干涉仪
	徐荣伟; 刘立人; 栾竹; 刘宏展
	2006-08-16
专利权人	中国科学院上海光学精密机械研究所
公开日期	2006-08-16
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	一种马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪，其构成是：第一分束平板、第二分束平板、第一反射平板和第二反射平板互相平行设置成Mach-Zehnder型结构；在第一分束平板和第一反射平板之间设置有分离式楔板，该楔板的楔角为α，光束在楔板上入射角为θ；第二分束平板和第二反射平板之间设置有楔板，该楔板的楔角为α，光束在楔板上入射角为θ；所述的分离式楔板与楔板的楔角呈正交放置，其中分离式楔板的楔板部分b沿平板部分a移动，改变光程差，产生相移，在所述的第二分束平板后设置CCD相机，该CCD相机的输出端与所述的干涉条纹处理系统的输入端相连。本发明结构简单，成本较低，测量精度高，适合于相干长度短的半导体激光器光源的波面测量。
其他摘要	一种马赫-曾德尔型相移矢量剪切干涉仪，其构成是：第一分束平板、第二分束平板、第一反射平板和第二反射平板互相平行设置成Mach-Zehnder型结构；在第一分束平板和第一反射平板之间设置有分离式楔板，该楔板的楔角为α，光束在楔板上入射角为θ；第二分束平板和第二反射平板之间设置有楔板，该楔板的楔角为α，光束在楔板上入射角为θ；所述的分离式楔板与楔板的楔角呈正交放置，其中分离式楔板的楔板部分b沿平板部分a移动，改变光程差，产生相移，在所述的第二分束平板后设置CCD相机，该CCD相机的输出端与所述的干涉条纹处理系统的输入端相连。本发明结构简单，成本较低，测量精度高，适合于相干长度短的半导体激光器光源的波面测量。
申请日期	2005-02-23
专利号	CN1270159C
专利状态	失效
申请号	CN200510024014.8
公开（公告）号	CN1270159C
IPC 分类号	G01B9/02 \| G01J9/02 \| G01M11/00
专利代理人	张泽纯
代理机构	上海新天专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49929
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	徐荣伟,刘立人,栾竹,等. 马赫－曾德尔型相移矢量剪切干涉仪. CN1270159C[P]. 2006-08-16.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN1270159C.PDF（530KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文