硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片

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	硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片
其他题名	硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片
	郑婉华; 董风鑫; 刘安金
	2019-07-05
专利权人	中国科学院半导体研究所
公开日期	2019-07-05
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	一种硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片，所述激光器包括依次设置的半导体光放大器、硅基模斑变换器、热调硅基环形谐振器及硅基相移器和双端口硅基多模干涉反射镜。所述双端口硅基多模干涉反射镜包括输入波导、输出波导、多模波导，以及分别将输入波导、输出波导与所述多模波导一端连接的锥形波导，所述输入波导连接到所述热调硅基双环谐振器的输出端，所述多模波导的另一端具有两个与波导轴向成45°的刻蚀面，两个刻蚀面垂直相交处位于所述多模干涉自成像波导的轴线上；所述激光器和其他硅基功能器件组成光子芯片。本发明的可调谐激光器及光子芯片具有尺寸小、成本低的优点，易于集成，在集成光电子领域和光通信领域有广阔的应用前景。
其他摘要	一种硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片，所述激光器包括依次设置的半导体光放大器、硅基模斑变换器、热调硅基环形谐振器及硅基相移器和双端口硅基多模干涉反射镜。所述双端口硅基多模干涉反射镜包括输入波导、输出波导、多模波导，以及分别将输入波导、输出波导与所述多模波导一端连接的锥形波导，所述输入波导连接到所述热调硅基双环谐振器的输出端，所述多模波导的另一端具有两个与波导轴向成45°的刻蚀面，两个刻蚀面垂直相交处位于所述多模干涉自成像波导的轴线上；所述激光器和其他硅基功能器件组成光子芯片。本发明的可调谐激光器及光子芯片具有尺寸小、成本低的优点，易于集成，在集成光电子领域和光通信领域有广阔的应用前景。
申请日期	2017-10-20
专利号	CN107872005B
专利状态	授权
申请号	CN201710998805.3
公开（公告）号	CN107872005B
IPC 分类号	H01S5/14 \| H01S5/065
专利代理人	任岩
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49420
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院半导体研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	郑婉华,董风鑫,刘安金. 硅基混合集成可调谐激光器及光子芯片. CN107872005B[P]. 2019-07-05.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN107872005B.PDF（758KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文