Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法 | |
其他题名 | 单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法 |
朱刚毅; 王永进 | |
2019-01-08 | |
专利权人 | 南京邮电大学 |
公开日期 | 2019-01-08 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 授权发明 |
摘要 | 本发明公开了一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法,在硅衬底上的氮化物材料,利用光刻工艺和硅刻蚀工艺制备悬空非对称环形薄膜微腔,该微腔的水平横截面形状是“圆环+锥角+缺口”,在微腔缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体,在光泵浦条件下,金纳米棒对微腔中的激光进行选模调制,最终实现单方向发射的氮化物锁模回音壁模激光。 |
其他摘要 | 本发明公开了一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法,在硅衬底上的氮化物材料,利用光刻工艺和硅刻蚀工艺制备悬空非对称环形薄膜微腔,该微腔的水平横截面形状是“圆环+锥角+缺口”,在微腔缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体,在光泵浦条件下,金纳米棒对微腔中的激光进行选模调制,最终实现单方向发射的氮化物锁模回音壁模激光。 |
申请日期 | 2016-12-19 |
专利号 | CN106785899B |
专利状态 | 授权 |
申请号 | CN201611181916.7 |
公开(公告)号 | CN106785899B |
IPC 分类号 | H01S5/065 | H01S5/10 |
专利代理人 | 刘琦 |
代理机构 | 江苏爱信律师事务所 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49347 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 南京邮电大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱刚毅,王永进. 单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法. CN106785899B[P]. 2019-01-08. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN106785899B.PDF(564KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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